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群的阶与其元的阶之间的关系_百度文库
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群的阶与其元的阶之间的关系
群​的​阶​与​其​元​的​阶​之​间​的​关​系
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Al掺杂ZnO薄膜的制备与光电性质研究.pdf71页
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硕士学位论文
Al掺杂ZnO薄膜的制备与光电性质研究
姓名:李丽
申请学位级别:硕士
专业:凝聚态物理
指导教师:王万录;方亮
重庆大学硕士学位论文
氧化锌 ZnO 是一种具有六方纤锌矿晶体结构的宽禁带 II-VI
族半导体材料,
由于其优良的特性,在太阳能电池、紫外探测器、声表面波器件、气敏传感器、
透明电极等方面得到了广泛的应用。近年来,由于Al 掺杂的ZnO 薄膜 AZO 具有
与ITO 薄膜相比拟的光电性能 可见光区高透射率和低电阻率
,又因其价格较低以
及在氢等离子体中的高稳定性等优点,已经成为替代昂贵的ITO
薄膜的首选材料
和当前透明导电薄膜领域的研究热点之一。
本文采用直流反应磁控溅射法用Zn 99.99% 掺Al 1.5% 靶制备出高质量的Al
掺杂的ZnO AZO 薄膜,用 XRD 、AFM
、XPS 和紫外可见、红外分光光
度计等测试手段对沉积的薄膜进行了表征和分析。分析了AZO 薄膜的导电机制,
用Van der Pauw
方法对样品的电学特性进行了测量。研究了退火温度和氧氩比对
光电特性的影响。另外,研究了AZO
薄膜的塞贝克效应和磁阻效应。
实验结果表明,利用直流反应磁控溅射法制备的AZO 薄膜,具有较好的晶体
结构和光电特性。XRD 表明,制备的薄膜为多晶,具有C 轴择优取向。退火处理
能使其结晶度提高。薄膜应力随着退火温度的增加而减小,随着氧氩比的增大而
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