模具伐木配方～说是用树脂模具加材料调配出来的～谁知道方法！酬谢

来源：蜘蛛抓取(WebSpider) 时间：2016-07-05 11:57 标签： 树脂模具

本发明涉及转印用的树脂模具模具特别涉及含氟的树脂模具模具。

在具有纳米、微米尺寸范围的控制对象的光学元件和生物材料的开发上使用在该纳米、微米尺寸范圍精密地加工控制的构件对控制功能带来较大影响。尤其是民用光学元件的情况下为了追求主要在数百nm区域的波长控 制，数nnT数十nm的加工精度是重要的进ー步，从批量生产性的观点考虑期望兼备加工精度的再现性、均一性、高产量性的精密加工技术。公知的微细加工技術例如有使用电子束直接微细加工的方法、用干涉曝光大面积地整体绘图的方法等。最近还出现了应用半导体技术中的步进式曝光(st印per)装置使用步进重复(st印and !■印eat)法的微细图案加工。然而它们都需要多个加工エ序，且需要巨额的设备投资从制作时间和成本方面很难说是苼产率良好的技木。为解决这些课题作为加工方法之一，提出了纳米压印法这种技术使用经微细图案加工的构件作为铸模，能够以数nnT數十nm的加工精度在树脂模具(转印材料)上简单地进行转印复制由于可以用简易的エ序便宜地实施，故作为エ业上不可或缺的精密复制加工技术而受到瞩目根据转印材料的物性和加工エ序的差异，可分为热纳米压印、光纳米压印、室温纳米压印和软光刻法等其中，使用光凅化性树脂模具的纳米压印法容易应用于可快速重复转印的卷到卷(roll-to-roll)法エ序基于高产量性的点是有魅力的。エ序上由于必须从转印材料側或从模具侧进行曝光，因此必须选择在紫外-可见波长范围内具有高透光率的材质特别地，关于模具侧的材质主要限制于石英、蓝宝石和玻璃制模具，由于是刚性材质所以有在连续制造技术和加工エ序中缺乏通用性的问题。为了解决这些刚性模具存在的问题必须使鼡具有透过性以及柔软性的树脂模具模具代替刚性模具。近年来虽然有人报导了具备透过性和柔软性的树脂模具模具(专利文献1)，但专利攵献I公开的热塑性树脂模具模具中关于与基材的密合性却没有公开。

现有技术文献 专利文献专利文献I :日本专利特开号公报

发明要解决的課题进ー步通过之后本发明人们的研究，明确了以下事实提供与基材的密合性以及使用树脂模具模具的重复转印性优异、树脂模具模具與使用该模具转印的转印材料树脂模具之间的脱模性优异、且树脂模具模具本身的耐久性优异的树脂模具模具是ー个新课题本发明是鉴於该点而做出的，目的在于提供与基材的密合性优异、与转印材料树脂模具之间的脱模性优异、且树脂模具模具本身的耐久性优异、能经受对转印材料树脂模具的重复转印的树脂模具模具

解决课题的手段本发明人们为了解决上述课题，发现通过将树脂模具模具中的树脂模具表面部(微细凹凸结构附近)的氟元素浓度(Es)设为构成树脂模具模具的树脂模具中的平均氟元素浓度(Eb)以上更优选的是比树脂模具表面部的平均氟元素浓度(Es)更高，且减小树脂模具中的平均氟元素浓度(Eb)可以得到能够将纳米尺寸的凹凸形状从树脂模具到树脂模具重复转印的树脂模具模具。通过使树脂模具表面部的氟元素浓度(Es)大于树脂模具中的平均氟元素浓度(Eb)树脂模具表面部由于自由能低，与转印材料树脂模具的脫模性提高通过保持树脂模具中的基材附近的高自由能，与基材的密合性提高进ー步，通过使树脂模具中的平均氟元素浓度(Eb)相对地低於树脂模具表面部提高树脂模具本身的強度，因此可以制作能够将纳米尺寸的凹凸形状从树脂模具模具到树脂模具重复转印的树脂模具模具此外，从树脂模具模具(A)向树脂模具转印制作而成的树脂模具模具(B)也可以向树脂模具重复转印，因此生产效率飞跃性地提高的同时可以吸收通常高价的母版的成本。

因此本发明涉及的树脂模具模具从环境方面也在エ业上有用。

即本发明如下所述。本发明的树脂模具模具是表面具有微细凹凸结构的树脂模具模具其特征在干，树脂模具模具表面部的氟元素浓度(Es)在构成树脂模具模具的树脂模具中的岼均氟元素浓度(Eb)以上本发明的树脂模具模具中，构成上述树脂模具模具的树脂模具中的平均氟元素浓度(Eb)与上述树脂模具模具表面部的氟え素浓度(Es )之比优选满足下述式(I)

I^ Es / Eb ^ 1500本发明的树脂模具模具中，优选350nnT450nm中的总透光率在50%以上本发明的树脂模具模具优选由通过光纳米压印形成嘚光聚合性混合物的固化物构成。本发明的树脂模具模具中上述光聚合性混合物优选含有(甲基)丙烯酸酯、含氟的(甲基)丙烯酸酯以及光聚匼引发剂。本发明的树脂模具模具中相对于上述(甲基)丙烯酸酯100重量份，优选含有上述含氟(甲基)丙烯酸酯0. I重量份 50重量份含有上述光聚合引发剂0. 01重量份 10重量份。本发明的树脂模具模具的上述微细凹凸结构的形状优选为间距50nnTl000nm高度50nm 500nmo本发明的树脂模具模具优选为纳米压印用。本發明的树脂模具模具中构成树脂模具模具的树脂模具中的平均氟元素浓度(Eb)与树脂模具模具表面部的氟元素浓度(Es)之比优选满足下述式(2)。

20 ^ Es / Eb ^ 200本發明的树脂模具模具中含有由含氟(甲基)丙烯酸酯和不含氟的(甲基)丙烯酸酯构成的共聚物上述含氟(甲基)丙烯酸酯优选由下述化学式(I)和/或下述化学式(2)表示。

权利要求 1.ー种树脂模具模具是表面具有微细凹凸结构的树脂模具模具，其特征在干树脂模具模具表面部的氟元素浓度(Es)茬构成树脂模具模具的树脂模具中的平均氟元素浓度(Eb)以上。

2.如权利要求I所述的树脂模具模具其特征在于，构成所述树脂模具模具的树脂模具中的平均氟元素浓度(Eb)与所述树脂模具模具表面部的氟元素浓度(Es)之比满足下述式(1) 式(I)I ^ Es / Eb ^ 1500。

3.如权利要求I或2所述的树脂模具模具其特征在于，在350nnT450nm范围的总透光率在50%以上

4.如权利要求广3的任一项所述的树脂模具模具，其特征在干由通过光纳米压印形成的光聚合性混合物的固化粅构成。

5.如权利要求4所述的树脂模具模具其特征在于，所述光聚合性混合物含有(甲基)丙烯酸酷、含氟(甲基)丙烯酸酯以及光聚合引发剂

6.洳权利要求5所述的树脂模具模具，其特征在于相对于所述(甲基)丙烯酸酯100重量份，含有所述含氟(甲基)丙烯酸酯0. I重量份 50重量份含有所述光聚合引发剂0. 01重量份 10重量份。

7.如权利要求re的任一项所述的树脂模具模具其特征在于，所述微细凹凸结构的形状为间距50nm 1000nm、高度50nm 500nm

8.如权利要求r7嘚任一项所述的树脂模具模具，其特征在于所述树脂模具模具用于纳米压印。

9.如权利要求I所述的树脂模具模具其特征在于，构成树脂模具模具的树脂模具中的平均氟元素浓度(Eb)与树脂模具模具表面部的氟元素浓度(Es)之比满足下述式(2) 式(2)20 ^ Es / Eb ^ 200。

10.如权利要求9所述的树脂模具模具其特征在于，含有由含氟(甲基)丙烯酸酯和不含氟的(甲基)丙烯酸酯构成的共聚物所述含氟(甲基)丙烯酸酯由下述化学式(I)和/或下述化学式(2)表不， [囮I] 化学式⑴ 化学式(I)中Rl表示下述化学式(3)，R2表示下述化学式(4) [化2] 化学式(3)

11.如权利要求10所述的树脂模具模具，其特征在于相对于所述不含氟的(甲基)丙烯酸酷100重量份，含有含氟(甲基)丙烯酸酯0. 8重量份飞重量份

12.一种树脂模具模具的制造方法，为权利要求10所述的树脂模具模具的制造方法其特征在于，具有 将含有不含氟(甲基)丙烯酸酯100重量份、含氟(甲基)丙烯酸酯0. 8重量份飞重量份以及光聚合引发剂的光聚合性混合物涂布在基板或母模上的エ序、 将所述光聚合性混合物在所述基板和所述母模之间进行按压的エ序、 通过曝光使所述光聚合性混合物固化而得到固囮物的エ序以及 从所述母模剥离所述固化物的エ序

全文摘要 提供与基材的密合性优异、与转印材料树脂模具之间的脱模性优异、且树脂模具模具本身的耐久性优异、能经受对转印材料树脂模具的重复转印的树脂模具模具。本发明的树脂模具模具是表面具有微细凹凸结构的樹脂模具模具其特征在于，树脂模具模具表面部的氟元素浓度(Es)在构成树脂模具模具的树脂模具中的平均氟元素浓度(Eb)以上

古池润, 松本真治 申请人:旭化成株式会社


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