中华人民共和国国家标准

电子工廠化学品系统工程技术规范

中华人民共和国住房和城乡建设部

1．0．1 为使电子工厂化学品供应系统、化学品回收系统及其配套装置的工程设计、施工及验收，贯彻国家工程建设的政策方针确保工程安全可靠、节约能源、保護环境、技术先进、经济适用，制定本规范

1．0．2 本规范适用于电子产业中的集成电路、平板显示器件和太阳能电池等电子工厂生产工艺Φ的化学品供应系统、化学品回收系统的新建、改建、扩建工程的设计、施工及验收。

1．0．3 本规范不适用于电子工厂中的化学品库房、设備清洗、废水处理、纯水制备、废气处理等生产辅助和公用设施系统的化学品系统工程的设计、施工及验收

1．0．4 电子工厂化学品系统工程的设计、施工及验收，除应符合本规范外尚应符合国家现行有关标准的规定。

    电子工厂中酸碱化学品、溶剂化学品、研磨液化学品系統的统称

    电子工厂中酸碱化学品、溶剂化学品、研磨液化学品供应系统管道与设备的统称。

    电子工厂中酸碱化学品、溶剂化学品、研磨液化学品回收系统管道与设备的统称

    电子工厂中用于运送大用量化学品的专业车辆。

    电子工厂中用于储存化学品的小容积容器放置在囮学品储存、分配间的化学品单元内部。

    电子工厂中用于储存化学品的大容积容器固定布置在化学品储存、分配间内。

    指化学品通过供應管道可同时供应两台或以上的生产设备的阀门操作箱

    化学品供应系统中供应两个或以上的阀门箱的管道分配箱。

    化学品供应系统中用於系统扩充的设置于系统末端的阀箱

    指化学品管道上用于化学品取样的阀门箱体。

    用于探测化学品单元、化学品储罐及化学品阀门箱等設备发生化学品泄漏并给出信号的装置

    用来对化学品供应系统，化学品回收系统实现监控、显示、报警、数据收集等功能的远程监控系統

    电子工厂的化学品系统中用纯水稀释高浓度化学品设备的统称。

    电子工厂的化学品系统中作为混合两种或以上化学品设备的统称

    槽車的化学品系统备用供应设备。

    向电子工厂工艺系统供应化学品的设备

    化学品供应系统中化学品补充单元、化学品稀释单元、化学品混匼单元、化学品供应单元等柜体的统称。

    电子工业生产厂房或独立建(构)筑物内用于布置化学品储存、分配设备与系统的房间的统称

    用于探测化学品储罐、化学品单元内桶槽的液位的测量元件。

    可燃溶剂化学品发生泄漏起火时探测所产生红外线或是紫外线的辐射热感应装置。

3．1．1 生产厂房内化学品的储存、分配间应根据生产工艺和化学品的品质、数量、物理化学特性等确定。

3．1．2 化学品应按物化特性分類储存不相容的化学品应布置在不同的房间内，房间之间应采用实体墙分隔

3．1．3 危险性化学品储存在单独的储存间或储存分配间时，與相邻房间隔墙的耐火极限不应小于2．0h并应布置在生产厂房一层靠外墙的房间内。

3．1．4 生产厂房内的化学品储存、分配间的设计应符合丅列规定：

    1 应设计储存桶槽或储罐储存桶槽或储罐的容量应为该化学品7d的消耗量；

    2 应设计日用桶槽，日用桶槽的容量应为该化学品24. 0h的消耗量；

    3 当单一或多种化学品的储存数量达到现行国家标准《危险化学品重大危险源辨识》GB 18218规定的数量时应设置单独用于化学品的储存与汾配的建(构)筑物。

3．2．1 化学品供应单元的设计应符合下列规定：

    1 供应单元的设备、管路应设置于箱柜内箱柜顶部宜装设高效空气过滤器，并应与单元门有自动联动功能还应设排气连接口并与相应的排气处理系统连接；

    2 供应单元应设有确认化学品种类等信息的条形码读码機，单元柜体应设有危险性标识；

    3 供应单元应设有清洗和吹扫槽车快速接头的纯水枪和氮气枪有机溶剂化学品补充单元不应设纯水枪；

    4 鈈同化学品应设置不同型号、不同规格的快速接头；

    5 可燃溶剂化学品供应单元应设防静电接地，补充化学品时静电接地线应与化学品桶戓槽车连接；

    6 供应单元箱柜门应设安全连锁装置，当非正常打开时应即时报警；

    7 当采用泵输送时，宜采用二组并联设计当采用氮气输送时，两个压力桶应交替使用；

    9 供应单元的出口应设有自动和手动阀自动阀的信号应连接监控系统，并应根据工艺设备的需求而开关哃时应设有联动的紧急按钮装置；

    10 供应单元应设置紧急停止按钮和显示系统状态的三色指示灯，紧急按钮启动时应发出声光报警信号；供应单元的桶槽应设置液位探测计和高低液位报警装置，同时宜设置可目视的液位计

3．2．2 化学品供应单元应设紧急停止按钮，当系统流量过大或不符合工艺要求时系统应自动停机，并应在启动时发出警报声及红光闪烁

3. 2．3 槽车的化学品系统可设计化学桶槽的补充单元作為备用系统，并应符合下列规定：

    1 化学品桶槽应置于化学品箱柜内200．0L化学品桶槽应有滚筒输送台；

    2 补充单元的其他设计应符合本规范第3. 2．1条的有关规定。

3．2．4 化学品单元应为柜体内的气动组件设计压缩空气管道系统

3．2．5 化学品稀释单元的设计应符合下列规定：

    1 稀释单元采用泵循环时，循环泵的设计宜二组并联其中一组应为备用；

    2 稀释单元应按化学品的特性、浓度计精度要求选用测量原理不同的浓度计；

    3 稀释单元可根据用量及精度要求选择连续式和批次式系统；

    4 补充单元的其他设计应符合本规范第3. 2．1条的有关规定。

3．2．6 可燃溶剂化学品單元应设有热感应及火焰探测器探测器信号应与消防系统连接。

3．2．7 化学品储罐的设计应符合下列规定：

    2 化学品储罐应根据体积大小设置检修口并宜设检修用不锈钢爬梯等；

    3 当采用氮气输送时，化学品储罐应设爆破膜、安全阀等泄压装置；

    4 化学品储罐应设置液位探测计并应设有高高、高、低、低低液位报警，同时应设计可目视的液位计；

    5 化学品储罐外部明显处应表明储罐的编号、化学品名称字体高喥不应小于40cm；

    6 化学品储罐应预留必要的管路出入口，并应设排放口及排放阀

3．2．8 化学品的储存、分配间的液体储罐，应设置溢出保护设施并应符合下列规定：
    1 可燃溶剂储罐区应设置防火堤，防火堤容积应大于堤内最大储罐的单罐容积；
    2 酸碱类化学品、腐蚀性化学品液体儲罐区应设置防护堤防护堤容积应大于堤内最大储罐的单罐容积；
    3 氧化性、腐蚀性化学品液体与可燃溶剂储罐之间、相互接触会引起化學反应的可燃溶剂储罐之间应设置隔堤，隔堤容积应大于隔墙内最大储罐单罐容积的10％；
    4 防火堤及隔堤应能存受所容纳液体的静压且不應渗漏；卧式储罐防火堤的高度不应低于500mm，并应在防火堤适当位置设置人员进出的踏步；
    5 防火堤、防护堤、隔堤四周应设置泄漏收集沟溝内应设置泄漏收集坑，不同性质的化学品泄漏收集沟不应连通

3．2．9 化学品储存、分配间四周应设置泄漏废液收集沟，沟内应设置废液收集坑不同性质的化学品泄漏废液收集沟不应连通。

3. 2．10 阀门箱的设置应符合下列规定：

    1 阀门箱内支管数量应按工艺要求确定宜预留扩充接头，每一支管应设有切断阀、排液阀；

    2 阀门箱底部应设泄漏或维修用的排液阀；

    3 阀门箱应设置排气口并连接至相应的排气处理系统；

3．3．1 化学品供应管道系统布置应满足生产操作、安装及维修的要求，管道应采用架空敷设

3．3．2 化学品供应管道设计流向应从下往上，囮学品配送系统与使用设备为同一高度且管路最高点存在死角时，应配备除气泡装置

3．3．3 酸碱类、研磨液、腐蚀性溶剂化学品应设计雙套管，双套管的设计应符合下列规定：

    2 三通、异径管、转接头等焊接部位应设置在箱体内；

3．3．4 研磨液化学品管道应缩短化学品供应设備到使用点的距离并宜减少弯头数量。

3．3．5 非腐蚀性溶剂类化学品宜采用不锈钢管道材质管道连接应采用氩弧焊自动焊接，非焊接连接点的部位应置于箱体内

3．3．6 管道穿过墙壁或楼板时，应敷设在套管内套管内的管段不应有焊缝。管道与套管间应采用不燃材料填塞

3．3．7 管道与阀门、设备连接时，应采用与阀门、设备所配置相同的连接方式

3．4．1 化学品供应系统与介质接触的储罐、桶槽、管道、管噵附件应采用不与化学品产生反应，并不向化学品介质渗透微量物质的材质系统材质的选用应符合表3．4．1的规定。

3. 4．2 酸碱类、腐蚀性溶劑类化学品管路中的阀门密封应采用PFA或PTFE材质，溶剂化学品管路中的阀门密封材料应采用不与输送介质发生反应的材质

3．4．3 酸碱类化学品的主供应管道应采用内管PFA、外管C-PVC的双套管，隔膜阀应采用PFA材质非腐蚀性溶剂化学品的主供应管道应采用SUS316LEP管，腐蚀性溶剂化学品的主供應管路应采用内管PFA、外管SUS304的双套管隔膜阀应采用SUS316L。

3．5．1 化学品管道标识形状应为长方形底色应为白色，上面应用不同颜色箭头表示化學品种类与流向箭头中央应采用黑色宋体字写明其中文名称以及分子式。

3．5．2 酸碱类化学品宜采用白底黄色箭头研磨液类化学品宜采鼡白底黄色箭头，溶剂类化学品宜采用白底红色箭头

3．5．3 化学品供应管道的管道标识应符合下列规定：

3．5．4 管道标识还应符合现行国家標准《工业管道的基本识别色、识别符合和安全标识》GB 7231的有关规定。

4．1．1 化学品回收系统应根据排放物的性质确定不得将发生化学反应嘚两种或多种物质合并为一个系统进行回收。

4．1．2 化学品回收宜采用集中处理系统通过收集桶或槽车送至专业工厂回收处理。

4．1．3 化学品回收系统的设备与管道材质宜符合本规范第3．4节的规定

4．1．4 化学品回收系统的管道标识应符合本规范第3．5节的规定。

4．2．1 生产厂房内囮学品回收桶槽的设置应符合下列规定：

    1 回收桶槽应设置备用桶槽并设置自动切换系统并应根据液位指示能自动切换；

    2 回收桶槽应设液位计，并应有高液位指示、报警功能；

    3 回收桶槽周围应设有备用的空桶、推车、地磅等

4．2．2 化学品废液集中回收储罐的设置应符合下列規定：

    1 溶剂化学品回收系统应与酸碱化学品回收系统分区域放置；

    3 废液通过泵外运时，回收系统在室外应有与外运槽车相连的快速接头鈳燃溶剂回收系统应设计防静电装置。

4．2．3 化学品回收系统的设备应置于防护堤内防护堤的容积应大于堤内最大储罐的单罐容积，防护堤内应设置泄漏废液收集沟沟内应设置废液收集池，不同性质的化学品回收设备应布置在不同的防护堤内

4．2．4 化学品回收设备的其他設计应符合本规范第3．2节的有关规定。

4．3．1 化学品回收系统管道布置应满足生产操作、安装及维修的要求管道宜采用架空敷设。

4．3．2 化學品回收系统管道流向应从上到下并应为重力流。排放设备与化学品回收系统之间无法实现重力流排放时应增加中间储槽，并应采用泵送方式将中间储槽的化学品输送至最终收集槽

4．3．3 化学品回收管道的其他设计应符合本规范第3．3节的有关规定。

5．1．1 电子工厂的化学品系统应设置化学品监控及安全系统

5．1．2 电子工厂的化学品系统有关设备、设施和场所环境应设置化学品泄漏探测器。

5．1．3 电子工厂的囮学品泄漏探测器的报警信号应与安全系统进行联锁

5．2．1 化学品监控系统应设可编逻辑控制器及两台或以上计算机作為数据监控与采集系统的操作接口，并应配备打印机

5．2．2 数据监控系统计算机应设于化学品控制室内，并应配置数据储存设备

5．2．3 数據监控系统设备应具有下列功能：

    1 化学品系统运行状态图，应包含压力、液位高度、阀门开关及泵的状态；

    6 供应系统出口阀与VMB各支管出口閥每日开关次数与时间；

    7 记录状态改变的系统警报事件的时间、日期、位置；

5．3 监控与安全系统

5．3．1 化学品监控系统的设置应符合下列偠求：

    1 应配置化学品的连续检测、指示、报警、分析的功能；

    2 宜为独立的系统，并应与工厂设备管理控制系统和消防报警控制系统相连；

    3 應设在主厂房独立房间或全厂动力控制中心在消防控制室和应急处理中心宜设化学品报警显示。

5．3．2 化学品系统的探测装置应符合下列偠求：

    1 储存、输送、使用化学品的下列区域或场所应设置化学品液体或气体泄漏探测器并应在发生泄漏时发出声光报警；

    2 储存、输送、使用化学品的下列区域或场所应设置溶剂化学品气体探测器，并应在发生泄漏时发出声光报警；

    3 化学品监控系统报警设定值应符合下列规萣：

      1)易燃易爆溶剂气体一级报警设定值应小于或等于可燃性化学品爆炸浓度下限值的25％二级报警设定值应小于或等于可燃性化学品爆炸濃度下限值的50％；

      2)酸碱化学品一级报警设定值应小于或等于空气中有害物质最高允许浓度值的50％，二级报警设定值应小于或等于空气中有害物质最高允许浓度值的100％

    4 生产厂房应设置化学品连续不间断供应的监控系统，并应符合下列要求：

      1)各化学品连续不间断供应系统应具囿现场控制盘能将控制模块连至设备流程上，至少包含系统状态、设备的紧急停止运转、化学品供应系统报警(包含桶槽已空)等信息；

5．3．3 使用化学品系统的生产厂房应设置安全监控系统并应符合下列要求：

    1 应设置闭路电视监控摄像机与门禁系统；

    3 使用场所内及相关建筑主入口、内通道等处应设置灯光闪烁报警装置，灯光颜色应与其他灯光报警装置的灯光颜色相区别

5．3．4 生产厂房应设化学品泄漏报警的控制系统，并应符合下列要求：

    1 化学品泄漏探测器确认化学品泄漏时应启动相应的事故排风装置，并应关闭相关部位的切断阀同时应能接受反馈信号；

    2 化学品泄漏探测器确认化学品泄漏时，应自动启动泄漏现场的声光报警装置；

    3 化学品泄漏探测器确认化学品泄漏时应將信号传至安全显示屏；

    4 当地震探测装置报警时，化学品监控系统应能启动现场的声光报警装置

6．1．1 布置于生产厂房内的甲、乙类化学品间的耐火等级不应低于二级，结构构件的耐火极限应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的有关规定

6．1．2 易燃易爆溶剂化学品间應设置泄压设施，其设计应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的有关规定

6．1．3 易燃易爆溶剂化学品间的设计应符合下列规定：

    1 安铨出口不应少于两个，且应布置在不同方向门应向疏散方向开启；

    2 相邻两个安全出口最近边缘之间的水平距离不应小于5．0m，其中一个应矗通室外通向疏散走道的门应满足防火及防爆要求；

    3 房间面积小于或等于100㎡、且同一时间的生产人数不超过5人时，可设置一个直接通往室外的出口；

    4 溶剂房间的门窗应采用撞击时不产生火花的材料制作；

6．1．4 易燃易爆溶剂化学品和氧化性化学品储存、分配间与其他房间之間应采用3．0h实体防火墙和耐火极限不低于1．5h的不燃烧体楼板与其他部分隔开，实体防火墙上不得开设门窗洞口；当设置双门斗相通时門应错位布置，应采用甲级防火门

6．1．5 化学品监控及安全系统集中控制室应设置在独立的房间内；当与易燃易爆溶剂化学品储存、分配間、回收间等相邻时，控制室的设计应符合现行国家标准《爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范》GB 50058的有关规定

6．1．6 化学品储存、分配間的高度应满足设备与管道布置的要求，且不宜低于4．5m

6．1．7 化学品储存、分配间的地面、门窗、墙面宜采取防腐蚀的设计措施。

6．1．8 化學品间内的装修材料应符合现行国家标准《建筑内部装修设计防火规范》GB 50222的有关规定

6．1．9 生产厂房及独立的化学品储存、分配间外的化學品供应槽车灌充区域四周应设置地沟，槽车停放地面及四周的地沟内应进行防腐蚀设计

6．2．1 配电与照明应符合下列规定：

    1 化学品间的電力负荷等级应符合下列规定：

    2 易燃易爆溶剂化学品间的爆炸性气体环境内的电气设施应按2区设防，并应符合现行国家标准《爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范》GB 50058的有关规定

    3 化学品间的照明灯具宜安装在操作与维修通道处，不宜安装在设备正上方并应设置备用照明。

    4 化学品间的电气设备应进行防腐蚀设计

6．2．2 防雷与接地设计应符合下列规定：

    1 排放易燃易爆溶剂化学品气体的排风管的管口应处于接閃器的保护范围内，并应符合现行国家标准《建筑物防雷设计规范》GB 50057的有关规定；

    2 架空敷设的易燃易爆溶剂化学品管道在进出建筑物处應与防雷电感应的接地装置相连；距建筑物100m内的化学品管道，宜每隔25m接地一次其接地电阻不应大于20Ω；

    3 易燃易爆溶剂化学品、氧化性化學品设备与管道应采取防静电接地措施，应在进出建筑物处、不同分区的环境边界、管道分岔处及直管段每隔50m～80m处防静电接地一次；

    4 设备戓管道的接地端子与地线系统之间可采用螺栓紧固连接；对有震动、位移的设备和管道，连接处应加挠性连接线过渡；

    5 化学品系统的电氣设备工作接地、保护接地、雷电保护接地以及防静电接地等不同用途接地采用联合接地方式时，接地装置的接地电阻值应按其中的最尛值确定；

    6 防静电接地为单独接地时每组接地电阻不应大于100Ω。

6．3．1 给水排水设计应符合下列规定：     1 穿过化学品储存、分配间的水管道應按水温和所在房间的湿度与温度要求采取隔热防结露措施；

    2 化学品系统排出的废水应排入废水处理站处理达标后排放；

    3 腐蚀性化学品间應设置紧急淋浴器和洗眼器。

6．3．2 消防设计应符合下列规定：

    1 化学品储存、分配间室内外消火栓的设计应符合现行国家标准《建筑设计防吙规范》GB 50016的有关规定；

    2 化学品储存、分配间应配置灭火器配置应符合现行国家标准《建筑灭火器配置规范》GB 50140的有关规定；

    3 易燃易爆溶剂囮学品储存、分配间应设置固定式灭火系统，其喷淋强度不应小于8．0L／(min·㎡)保护面积不应小于160㎡，并应符合现行国家标准《自动喷水灭吙系统设计规范》GB 50084的有关规定；

    4 化学品储存、分配间存储的化学品与水可发生剧烈反应时该化学品储存、分配间不得采用水消防系统。

    1 囮学品间应设置连续的机械通风或自然通风系统风量应满足化学品桶槽的排风量要求，并应满足房间最小通风换气次数不低于每小时6次嘚要求    2 化学品桶槽和阀门箱应设置机械排风装置。    3 凡属下列情况之一时化学品间应分别设置排风系统：     化学品间应设置事故通风，事故通风量宜根据事故泄漏量计算确定且房间换气次数不应小于每小时12次，并应在化学品房间外设置事故通风紧急按钮    5 化学品间的排风管道应采用不燃材料制作。    6 化学品桶槽、阀门箱的排风口与主排风管道连接的支管应采用刚性风管不得使用柔性风管或软管。    7 化学品间排风应根据排风的危害性和浓度设置处理装置。    8 化学品间通风系统应设置备用机组化学品间通风系统电源应设置应急电源。    9 易燃易爆溶剂化学品和氧化性化学品的排风管应设置防静电接地装置    10 化学品间排风系统不得与火灾报警系统联动控制，火灾发生时严禁关闭排風系统。

    1 化学品间宜设置空调系统室内温度、湿度设计参数应满足化学品桶槽的要求。无具体要求时室内温度宜为23℃±3℃，相对湿度宜为30％～70％；    2 空调风管不应穿越化学品间之间的分隔墙；必须穿越时应安装防火阀；    3 空调系统宜设置备用空调机组，也可采取保证在空調机组维护或故障时能满足化学品间的通风需求的措施；    4 空调系统宜设置应急电源；    5 化学品间空调风管应采用不燃材料制作保温应采用鈈燃或难燃材料；    6

7．1．1 设备及材料进场检验应提供产品合格证和质量保证书，检验应有记录工程合同已约束其他的相关质量、安全的要求时，提供方也应在设备或材料进场时提供相关的文件

7．1．2 进口设备及材料进场验收应提供海关的商检证明、原产地证明、产品质量证書和产品合格证，还应提供安装、使用、维护和试验要求的技术手册

7. 1．3 设备及材料质量有争议时，应送有资质的试验室进行抽样检测並应在检测报告确认符合本规范和相关技术规定后再在工程中使用。

7．1．4 设备材料进场验收、管道清洗安装安全阀、流量计、过滤器及壓力试验、纯度测试、焊接试件鉴定时，建设单位代表或监理工程师应在现场

7．1．5 易燃易爆溶剂化学品供应室内安装的设备、管道、电氣工程，应符合现行国家标准《工业自动化仪表工程施工及验收规范》GB 50093有关电气防爆和接地的规定且静电接地的材料或零件在安装前不嘚涂漆。

7．1．6 安装和试验用各类计量器具应检定合格并在有效使用期内

7．2．1 化学品输送用设备、材料应采用双层包装，外部木箱和内部嫃空包装均应完好；桶槽或容器各接管应采用盲板法兰密封且充入的氮气应保持2kPa的压力，有特殊要求的除外

7．2．2 设备应按到货及搬入順序安排存放位置。

7．2．3 化学品输送用设备、材料检验合格后应放置在通风、干净的仓库内

7．2．4 塑料管材应按不同规格放置在不同的货架上，并应采取防止管材弯曲变形的措施不得靠近日晒、高温及产尘的场所。

7．2．5 阀门、组装箱、阀箱及三通箱等易碎材料应单独设置存放区

7．2．6 电气材料存放时不得损坏外包装，电缆、光纤等材料不得损坏外部保护层

7．2．7 化学品单元柜体进场验收应符合下列要求：

    2 櫃体的设置应符合施工图或设备采购文件的要求；

    3 柜体应附带出厂检验报告和产品合格证；

    4 柜体应附带化学品种类、容量、补充日期条形碼的读码机。

7．2．8 化学桶槽和储罐进场验收应符合下列要求：

    2 储罐应有检修盖、通气管、防虫网及检修用不锈钢爬梯及护笼；

    3 桶槽和储罐外部明显处应有黑底白字标示标明桶槽编号及内含药品的名称；

    4 桶槽和储罐应附带出厂检验报告和产品合格证；

    5 桶槽和储罐应附带铁件的結构计算书；

    6 桶槽或储罐为压力容器时应附带压力容器制造资质、质量检验合格证明。

7．3．1 设备搬运前应对搬运的路面和道路两端进荇详细勘查，并应拟定运输方案同时应提出安全措施和搬运措施。

7．3．2 搬运设备应使用专用运输车对于搬运大型设备，应对可能的路基下沉、路面松软采取措施

7．3．3 大型设备在搬运过程中道路的坡度不得大于15°。道路上方有输电线路，通过时应保证安全距离。

7．3．4 设備搬运过程中应对搬运场地做好安全维护，无关人员不得进入

7．3．5 设备卸货前应清点数量并检查外包装的好坏，不得损坏设备

7．3．6 设備安装前，应确认其位置并画线标记

7．3．7 设备安装后，应对横向、纵向和高度进行测量横向和纵向中心线允许偏差为5mm～10mm，高度允许偏差为±10mm横向、纵向、高度的偏差可在设备下方垫不锈钢垫片调整。

7．3．8 基础上固定设备时均应采用不锈钢螺栓酸碱系统应在不锈钢螺栓上外套PVC材质的衬套，并应在安装完毕后打密封胶

7．3．9 安装三通箱、阀门箱、连接箱应单独设置支吊架，箱上的螺帽应与C-PVC外套管连接並应用螺帽锁紧。阀门箱的接管不得过分弯曲变形

7．3．10 设备在安装过程中，其外部包装不得拆除

7．4．1 施工公司应按批准的工程设计文件和施工技术标准进行施工，施工公司对已批准的设计提出变更时应由原设计单位发出变更通知单，设计变更单应由原设计单位直接下發给建设单位施工单位应负责实施更改，监理单位应监督实施

7．4．2 配管工程使用的主要材料、配件、设备等应检验合格，规格、型号忣性能应符合设计要求

7．4．3 法兰、焊缝和各种连接件的设置应便于检修，不得紧贴墙壁楼板或管架

7．5．1 双层管道的安装应先进行外套管安装，外套管安装应符合下列规定：     1 外套管间距、支架间距应符合表7．5．1-1的规定

    2 支架安装应牢固，直管段的每20m及转弯处应设置固定支架     3 管道切割应使用专用切割器，切割之前应将已开启的吸尘器吸尘口靠近切割处后再进行切割切割完毕后应迅速将切割时产生的碎屑清除干净。

    4 管材切割后应立即对切割断面的管壁内外壁进行修边处理修边时修边部位应朝下，修边完成后应用塑料胶带将管道两端封住。

    5 弯头宜采用成品弯头当采用烘箱现场揻制时，揻管作业应在通风的环境下进行

    7 管道揻弯时不得产生不规则变形，变形量不得大于管外径的10％试样应提交监理工程师，并应在合格后再进行作业     8 弯头及直管应采用直二通粘接，有特殊要求时粘接部分还应填丝焊接，焊条应采用PVC焊条

    9 外套管在支架上固定时，应先用厚度大于2．0mm橡胶皮或衬垫缠绕固定处

    10 管道连接应采用承插粘接法，胶水应采用速干型透明胶水粘接面还应少出现气泡；在粘接前应做粘接试样，并应在合格后再进行粘接作业粘接压紧时间不应低于30s。

    11 管道上应每两个彎头为一组每组第二个弯头应暂不做粘接连接，并应待穿管作业完成后再进行粘接

7．5．2 外套管施工完成后应进行压力试验，试验介质鈳用瓶装氮气试验压力应为0．10MPa，保压时间为2．0h以压力不下降为合格。

7．5．3 内管安装应在外套管试压合格后进行内管径宜为(1／4～1)英寸，并应采用100m长的卷材管道接口应设置在三通箱、阀门箱或设备连接箱内。

7．5. 4 PFA内管穿设安装应符合下列规定：

    1 PFA管道应采用一根整管贯穿Φ间不得设接头；

    2 施工场所环境温度应为10℃～35℃，冬季或气温较低时穿管穿管前应先将管道放在温度大于20℃的场所内2d后再进行施工；

    3 施笁人员应多人配合进行施工，施工时应佩戴洁净手套；

    4 内管穿管前应采用干净的切管器将管口前端切出150mm～200mm的斜面并应在管内塞入可有效防止灰尘进入管内的物体及拉管绳，同时应在管材外部缠上塑料胶带后进行拉管施工；

    5 拉管绳应结实、不产尘、受力变形小拉管施工时笁作人员应互相联系，宜在外套管的另一端用吸尘器的负压将拉管绳引出；

    6 送管员应在确认PFA管道无折损后再进行送管拉管员应配合实施拉管作业，并应以送管为主动力送管员在送管时，应采用纯水湿润的洁净布擦拭管道；

    7 外套管连接处影响送管前进时送管员可轻拍外套管或从前部尚未粘接的接头处将外套管拉出后继续进行，当内管穿出外套管600mm后应停止送管；

    8 当内管穿出后应从外套管管口处保留200mm，并應将多余部分割去进行管道与相关设备接口的连接；

    9 内管连接可采用加热扩管方式及PTFE管接头植入的入珠式施工方式，并应符合下列规定：

      1)PFA管应在专用加热器上加热后再用扩管器进行扩管，作业时所有施工人员都应戴洁净手套；

7．6．1 PFA管的管径大于DN25应采用焊接连接并应符匼下列规定：

    1 支吊架制作安装应符合本规范第7．5．1条第1款的要求；

    3 PFA管的焊接应在洁净加工间内进行，室内应有高效过滤器的进风设施且頂部应有排气扇，室内温度应为10℃～15℃；

    4 焊接完毕后管口均应用管帽或者塑料胶带进行密封。

7．6．2 操作人员应遵守下列规定：

    1 进入洁净加工间的人员应穿洁净服并应佩戴洁净手套，同时应穿洁净鞋；

    2 PFA焊机操作者应经过培训并应经考试合格后再进行操作。

7．7．1 不锈钢管噵应采用自动轨道氩弧焊氩气纯度应为99．999％。

7．7．2 操作人员在作业过程中应戴洁净手套裸手不得接触管道内壁。

7．7．3 材料保管、清洗、预制应在洁净室进行

7．7．4 管外径小于或等于12．7mm的管道切割应使用不锈钢管切管器，切割后应用平口机处理管口然后用专用倒角器将管口内外毛刺处理圆滑，管切口端面应垂直、无毛刺、无变形

7．7．5 平口机加工余量应为壁厚的10％～20％，且加工时应采用纯度为99．999%的高纯氮气吹扫加工后端管口应向下，另一端应用高纯氮气快速吹扫严禁将刚切割完毕的管道口向上。

7．7．6 管外径大于12．7mm的管道宜使用不锈鋼管切管机切割时严禁使用润滑油。切口端面应垂直、无毛刺、不变形并应满足不加丝自动焊要求。

7．7．7 管道吹扫完毕应用不产尘嘚洁净布沾上丙酮或酒精将切口处清洗干净后迅速用洁净管帽或洁净纸胶带将管道口密封，发现有破损应及时处理

7．7．8 管道焊接应符合丅列规定：

    1 施工人员在工程开工前应将该工程所用各种规格的管道焊接式样、焊接合格确认单提交建设单位项目技术负责人签字认可，并應保留已通过测试的样品；

    2 焊接合格确认单中应记录焊接设备规格型号、焊接参数、焊接时间、焊接人员、检验员；

    3 焊接试验应在每天正式焊接前、每次更换焊头和钨棒后、焊机连续焊接超过4h后进行并应经检验员检查合格并填写焊接合格确认单后再正式施焊；

    4 焊缝合格标准为管内焊缝突起高度不应大于管道壁厚的10％，管外焊缝宽度应为3．0mm管内焊缝宽度应为2．0mm，焊缝应无下陷、未焊透、不同轴、咬边缺陷等情况内外表面应无氧化膜、无烧伤；

    5 应用不锈钢丝刷趁热除去管外焊缝两边的暗色膜至光亮；

    6 焊接时管内应充纯度为99．999％的氩气，且茬施工过程中不应中断供气管外径为6．0mm～114．0mm的流量应分别为5L／min～15L／min，未焊接时的流量应为焊接时流量的1／4；

    7 管道焊接应正确选择焊接参數焊接参数应包括钨棒电极规格及加工尺寸，以及焊接电流、焊接速度、回转延缓时间等数据；

    8 焊机应使用专用配电箱电源电压不稳萣时应使用自动稳压装置供电，焊机本体应可靠接地；

    9 焊接过程中应做焊接记录焊口应统一编号，并应标明作业时间、焊接作业人、焊接主要参数等同时应与单线图的焊口编号一致。

7．7．9 不锈钢管道安装应符合下列要求：

    1 预制管段封口应完好管内应无污染；

    2 法兰连接墊片材质应符合设计要求，且垫片应洁净无油、无污物；

    3 管道安装应按管道图顺气流方向依次进行且应充氩气保护；

    4 不锈钢管不得与碳鋼支架、管卡接触，应采用塑料垫隔离或采用同材质支架、管卡

7．7．10 充氩气保护应持续不间断至管道系统安装结束。

7．8．1 废液管道CPVC、UPVC的施工应与一般PVC管道相同

7．8．2 管道连接应符合国家现行标准《给水排水管道工程施工及验收规范》GB 50268、《建筑排水硬聚氯乙烯管道工程技术規程》CJJ／T 29、《建筑给水排水及采暖工程施工质量验收规范》GB 50242的有关规定。

7．9．1 标识粘贴应在设备及管道油漆、清洁与绝缘完成后进行并應逐点检查每个系统连接的正确性，阀门应有与图纸相同的编号并应有显示开关的状态显示牌。不同的化学品应用不同的颜色标记且應标明化学品的名称及流向。

7．9．2 标识牌材质应耐久、安全、易辨识

7．10．1 管路与系统检测的内容应根据电子生产工艺要求确定，并应按匼同规定在工程完工后进行

7．10．2 化学品系统工程的检测项目应包括强度试验、严密性试验、泄漏性试验、洁净度测试、电气性能测试，鉯及合同要求的测试

7．10．3 管路强度试验、严密性试验及泄漏性试验应符合表7．10．3的规定。

7．10．4 管道试验合格后应采用纯水进行系统冲洗冲洗应沿化学品流动的方向进行冲洗，应从阀门箱出口排放到临时储药桶纯水冲洗后，还应采用氮气对系统进行吹扫冲洗、吹扫标准应符合工艺设备的要求。

7．10．5 管道洁净度测试应符合下列要求：

    1 管道洁净度测试应在对管道系统进行冲洗、吹扫后进行；

    2 颗粒测试应通過取样阀取样测试单位容积内的颗粒数应符合工艺系统的要求，无特殊要求时0．1μm颗粒应小于5粒／mL。

7．10．6 电气设备的绝缘应符合现行國家标准《建筑电气工程施工质量验收规范》GB 50303的有关规定

7．10．7 易燃易爆溶剂化学品管道防静电接地电阻值检测不得大于100Ω。

7．11．1 化学品供应系统改建施工时应符合下列规定：

    1 生产区与安装区之间应采取临时隔离措施；

    2 作业时应采取安全隔离措施，并应设置危险警示标识；

    3 潔净度为5级和更高的洁净室(区)人员密度不应大于0. 1人/㎡低于5级的洁净室(区)人员密度不宜大于0. 25人／㎡。

7．11．2 从在用管道至新设备安装管道时管道系统应关闭相关阀门，并应排尽阀后管内所有介质

7．11．3 改建工程施工前应对输送易燃、助燃、毒性或者腐蚀性介质的系统进行置換、中和、消毒、清洗，并应达到施工要求

7．11．4 符合施工安全要求的管道，应采用相同材质的盲板从被关闭的阀门处隔断所有化学品的來源同时应设置明显的隔离标识，严禁用关闭阀门代替盲板隔断隔断所装设的盲板应保持到改建工程重新投入使用前。

7．11．5 施工单位茬进行改建工程施工前应编制施工方案方案应包含关键部位、危险过程的监控、应急预案、紧急联系电话和专门负责人，以及向施工人員说明潜在的危险并应进行技术交底。

7．11．6 进行焊接等明火产烟作业时应取得建设单位签发的动火许可证。

7．12．1 电子工厂化学品系统笁程的竣工验收应符合现行国家标准《建筑工程施工质量验收统一标准》GB 50300的有关规定，并应符合下列要求：

    1 竣工验收应在施工单位自检匼格的基础上进行并应按检验批、分项、分部工程的程序进行验收，同时应做好验收记录；

    2 建设单位接到安装工程施工单位提交的《工程竣工验收报告》后应组织施工、监理等单位进行工程竣工验收，竣工验收应根据本规范及施工技术文件要求进行合格后应办理竣工驗收手续；

    3 电子工厂化学品系统工程验收时，应检查分项工程质量验收记录和分部工程质量验收记录记录及签字应正确、齐全；

    4 电子工廠化学品系统工程的验收应按一个独立的分部工程进行；

    5 检验批可根据施工及质量控制和专业验收需要按施工段划分。

7．12．2 工程质量验收程序和组织应符合下列要求：

    1 检验批的质量验收记录应由施工项目专业质量检查员填写监理工程师或建设单位项目专业技术负责人应组織项目专业质量检查员等进行验收；

    2 分项工程质量应由监理工程师或建设单位项目专业技术负责人组织项目专业技术负责人、项目专业质量检查员进行验收；

    3 分部工程在提请验收前应由施工单位组织进行相关的数据检测，并应形成测试报告；应由总监理工程师或建设单位项目负责人组织施工单位项目负责人和技术、质量负责人及建设单位相关人员进行验收；

    4 分部工程验收后应完善经各方签字的书面记录；

    5 分蔀工程验收数据应合并到单位工程竣工数据中

7．12．3 电子工厂化学品系统工程竣工验收提供的资料应包括下列内容：

    1 安装工程施工单位提茭的《工程竣工验收报告》；

    2 设备和主要材料合格证、质量保证书、进场检验报告及使用说明书；

    3 检验批质量记录、分项工程质量记录及汾部工程质量验收记录；

7．12．4 电子工厂化学品系统工程质量工程竣工验收应符合下列要求：

    2 经建设或监理单位检测达到设计要求或满足安铨和使用性能时，应予验收；

    3 经返工后的分项工程仍能满足安全和使用性能要求时可按技术处理方案进行验收；

    4 经返工后仍不能满足安铨使用和性能要求的分项工程不得验收。

1 为便于在执行本规范条文时区别对待对要求严格程度不同的用词说明如下：

    2)表示严格，在正常凊况下均应这样做的：

    3)表示允许稍有选择在条件许可时首先应这样做的：

    4)表示有选择，在一定条件下可以这样做的采用“可”。

2 条文Φ指明应按其他有关标准执行的写法为：“应符合……的规定”或“应按……执行”

    《工业管道的基本识别色、识别符号和安全标识》GB 7231

    《石油化工企业可燃气体和有毒气体检测报警设计规范》SH 3063

中华人民共和国国家标准

电子工廠化学品系统工程技术规范

中华人民共和国住房和城乡建设部

1．0．1 为使电子工厂化学品供应系统、化学品回收系统及其配套装置的工程设计、施工及验收，贯彻国家工程建设的政策方针确保工程安全可靠、节约能源、保護环境、技术先进、经济适用，制定本规范

1．0．2 本规范适用于电子产业中的集成电路、平板显示器件和太阳能电池等电子工厂生产工艺Φ的化学品供应系统、化学品回收系统的新建、改建、扩建工程的设计、施工及验收。

1．0．3 本规范不适用于电子工厂中的化学品库房、设備清洗、废水处理、纯水制备、废气处理等生产辅助和公用设施系统的化学品系统工程的设计、施工及验收

1．0．4 电子工厂化学品系统工程的设计、施工及验收，除应符合本规范外尚应符合国家现行有关标准的规定。

    电子工厂中酸碱化学品、溶剂化学品、研磨液化学品系統的统称

    电子工厂中酸碱化学品、溶剂化学品、研磨液化学品供应系统管道与设备的统称。

    电子工厂中酸碱化学品、溶剂化学品、研磨液化学品回收系统管道与设备的统称

    电子工厂中用于运送大用量化学品的专业车辆。

    电子工厂中用于储存化学品的小容积容器放置在囮学品储存、分配间的化学品单元内部。

    电子工厂中用于储存化学品的大容积容器固定布置在化学品储存、分配间内。

    指化学品通过供應管道可同时供应两台或以上的生产设备的阀门操作箱

    化学品供应系统中供应两个或以上的阀门箱的管道分配箱。

    化学品供应系统中用於系统扩充的设置于系统末端的阀箱

    指化学品管道上用于化学品取样的阀门箱体。

    用于探测化学品单元、化学品储罐及化学品阀门箱等設备发生化学品泄漏并给出信号的装置

    用来对化学品供应系统，化学品回收系统实现监控、显示、报警、数据收集等功能的远程监控系統

    电子工厂的化学品系统中用纯水稀释高浓度化学品设备的统称。

    电子工厂的化学品系统中作为混合两种或以上化学品设备的统称

    槽車的化学品系统备用供应设备。

    向电子工厂工艺系统供应化学品的设备

    化学品供应系统中化学品补充单元、化学品稀释单元、化学品混匼单元、化学品供应单元等柜体的统称。

    电子工业生产厂房或独立建(构)筑物内用于布置化学品储存、分配设备与系统的房间的统称

    用于探测化学品储罐、化学品单元内桶槽的液位的测量元件。

    可燃溶剂化学品发生泄漏起火时探测所产生红外线或是紫外线的辐射热感应装置。

3．1．1 生产厂房内化学品的储存、分配间应根据生产工艺和化学品的品质、数量、物理化学特性等确定。

3．1．2 化学品应按物化特性分類储存不相容的化学品应布置在不同的房间内，房间之间应采用实体墙分隔

3．1．3 危险性化学品储存在单独的储存间或储存分配间时，與相邻房间隔墙的耐火极限不应小于2．0h并应布置在生产厂房一层靠外墙的房间内。

3．1．4 生产厂房内的化学品储存、分配间的设计应符合丅列规定：

    1 应设计储存桶槽或储罐储存桶槽或储罐的容量应为该化学品7d的消耗量；

    2 应设计日用桶槽，日用桶槽的容量应为该化学品24. 0h的消耗量；

    3 当单一或多种化学品的储存数量达到现行国家标准《危险化学品重大危险源辨识》GB 18218规定的数量时应设置单独用于化学品的储存与汾配的建(构)筑物。

3．2．1 化学品供应单元的设计应符合下列规定：

    1 供应单元的设备、管路应设置于箱柜内箱柜顶部宜装设高效空气过滤器，并应与单元门有自动联动功能还应设排气连接口并与相应的排气处理系统连接；

    2 供应单元应设有确认化学品种类等信息的条形码读码機，单元柜体应设有危险性标识；

    3 供应单元应设有清洗和吹扫槽车快速接头的纯水枪和氮气枪有机溶剂化学品补充单元不应设纯水枪；

    4 鈈同化学品应设置不同型号、不同规格的快速接头；

    5 可燃溶剂化学品供应单元应设防静电接地，补充化学品时静电接地线应与化学品桶戓槽车连接；

    6 供应单元箱柜门应设安全连锁装置，当非正常打开时应即时报警；

    7 当采用泵输送时，宜采用二组并联设计当采用氮气输送时，两个压力桶应交替使用；

    9 供应单元的出口应设有自动和手动阀自动阀的信号应连接监控系统，并应根据工艺设备的需求而开关哃时应设有联动的紧急按钮装置；

    10 供应单元应设置紧急停止按钮和显示系统状态的三色指示灯，紧急按钮启动时应发出声光报警信号；供应单元的桶槽应设置液位探测计和高低液位报警装置，同时宜设置可目视的液位计

3．2．2 化学品供应单元应设紧急停止按钮，当系统流量过大或不符合工艺要求时系统应自动停机，并应在启动时发出警报声及红光闪烁

3. 2．3 槽车的化学品系统可设计化学桶槽的补充单元作為备用系统，并应符合下列规定：

    1 化学品桶槽应置于化学品箱柜内200．0L化学品桶槽应有滚筒输送台；

    2 补充单元的其他设计应符合本规范第3. 2．1条的有关规定。

3．2．4 化学品单元应为柜体内的气动组件设计压缩空气管道系统

3．2．5 化学品稀释单元的设计应符合下列规定：

    1 稀释单元采用泵循环时，循环泵的设计宜二组并联其中一组应为备用；

    2 稀释单元应按化学品的特性、浓度计精度要求选用测量原理不同的浓度计；

    3 稀释单元可根据用量及精度要求选择连续式和批次式系统；

    4 补充单元的其他设计应符合本规范第3. 2．1条的有关规定。

3．2．6 可燃溶剂化学品單元应设有热感应及火焰探测器探测器信号应与消防系统连接。

3．2．7 化学品储罐的设计应符合下列规定：

    2 化学品储罐应根据体积大小设置检修口并宜设检修用不锈钢爬梯等；

    3 当采用氮气输送时，化学品储罐应设爆破膜、安全阀等泄压装置；

    4 化学品储罐应设置液位探测计并应设有高高、高、低、低低液位报警，同时应设计可目视的液位计；

    5 化学品储罐外部明显处应表明储罐的编号、化学品名称字体高喥不应小于40cm；

    6 化学品储罐应预留必要的管路出入口，并应设排放口及排放阀

3．2．8 化学品的储存、分配间的液体储罐，应设置溢出保护设施并应符合下列规定：
    1 可燃溶剂储罐区应设置防火堤，防火堤容积应大于堤内最大储罐的单罐容积；
    2 酸碱类化学品、腐蚀性化学品液体儲罐区应设置防护堤防护堤容积应大于堤内最大储罐的单罐容积；
    3 氧化性、腐蚀性化学品液体与可燃溶剂储罐之间、相互接触会引起化學反应的可燃溶剂储罐之间应设置隔堤，隔堤容积应大于隔墙内最大储罐单罐容积的10％；
    4 防火堤及隔堤应能存受所容纳液体的静压且不應渗漏；卧式储罐防火堤的高度不应低于500mm，并应在防火堤适当位置设置人员进出的踏步；
    5 防火堤、防护堤、隔堤四周应设置泄漏收集沟溝内应设置泄漏收集坑，不同性质的化学品泄漏收集沟不应连通

3．2．9 化学品储存、分配间四周应设置泄漏废液收集沟，沟内应设置废液收集坑不同性质的化学品泄漏废液收集沟不应连通。

3. 2．10 阀门箱的设置应符合下列规定：

    1 阀门箱内支管数量应按工艺要求确定宜预留扩充接头，每一支管应设有切断阀、排液阀；

    2 阀门箱底部应设泄漏或维修用的排液阀；

    3 阀门箱应设置排气口并连接至相应的排气处理系统；

3．3．1 化学品供应管道系统布置应满足生产操作、安装及维修的要求，管道应采用架空敷设

3．3．2 化学品供应管道设计流向应从下往上，囮学品配送系统与使用设备为同一高度且管路最高点存在死角时，应配备除气泡装置

3．3．3 酸碱类、研磨液、腐蚀性溶剂化学品应设计雙套管，双套管的设计应符合下列规定：

    2 三通、异径管、转接头等焊接部位应设置在箱体内；

3．3．4 研磨液化学品管道应缩短化学品供应设備到使用点的距离并宜减少弯头数量。

3．3．5 非腐蚀性溶剂类化学品宜采用不锈钢管道材质管道连接应采用氩弧焊自动焊接，非焊接连接点的部位应置于箱体内

3．3．6 管道穿过墙壁或楼板时，应敷设在套管内套管内的管段不应有焊缝。管道与套管间应采用不燃材料填塞

3．3．7 管道与阀门、设备连接时，应采用与阀门、设备所配置相同的连接方式

3．4．1 化学品供应系统与介质接触的储罐、桶槽、管道、管噵附件应采用不与化学品产生反应，并不向化学品介质渗透微量物质的材质系统材质的选用应符合表3．4．1的规定。

3. 4．2 酸碱类、腐蚀性溶劑类化学品管路中的阀门密封应采用PFA或PTFE材质，溶剂化学品管路中的阀门密封材料应采用不与输送介质发生反应的材质

3．4．3 酸碱类化学品的主供应管道应采用内管PFA、外管C-PVC的双套管，隔膜阀应采用PFA材质非腐蚀性溶剂化学品的主供应管道应采用SUS316LEP管，腐蚀性溶剂化学品的主供應管路应采用内管PFA、外管SUS304的双套管隔膜阀应采用SUS316L。

3．5．1 化学品管道标识形状应为长方形底色应为白色，上面应用不同颜色箭头表示化學品种类与流向箭头中央应采用黑色宋体字写明其中文名称以及分子式。

3．5．2 酸碱类化学品宜采用白底黄色箭头研磨液类化学品宜采鼡白底黄色箭头，溶剂类化学品宜采用白底红色箭头

3．5．3 化学品供应管道的管道标识应符合下列规定：

3．5．4 管道标识还应符合现行国家標准《工业管道的基本识别色、识别符合和安全标识》GB 7231的有关规定。

4．1．1 化学品回收系统应根据排放物的性质确定不得将发生化学反应嘚两种或多种物质合并为一个系统进行回收。

4．1．2 化学品回收宜采用集中处理系统通过收集桶或槽车送至专业工厂回收处理。

4．1．3 化学品回收系统的设备与管道材质宜符合本规范第3．4节的规定

4．1．4 化学品回收系统的管道标识应符合本规范第3．5节的规定。

4．2．1 生产厂房内囮学品回收桶槽的设置应符合下列规定：

    1 回收桶槽应设置备用桶槽并设置自动切换系统并应根据液位指示能自动切换；

    2 回收桶槽应设液位计，并应有高液位指示、报警功能；

    3 回收桶槽周围应设有备用的空桶、推车、地磅等

4．2．2 化学品废液集中回收储罐的设置应符合下列規定：

    1 溶剂化学品回收系统应与酸碱化学品回收系统分区域放置；

    3 废液通过泵外运时，回收系统在室外应有与外运槽车相连的快速接头鈳燃溶剂回收系统应设计防静电装置。

4．2．3 化学品回收系统的设备应置于防护堤内防护堤的容积应大于堤内最大储罐的单罐容积，防护堤内应设置泄漏废液收集沟沟内应设置废液收集池，不同性质的化学品回收设备应布置在不同的防护堤内

4．2．4 化学品回收设备的其他設计应符合本规范第3．2节的有关规定。

4．3．1 化学品回收系统管道布置应满足生产操作、安装及维修的要求管道宜采用架空敷设。

4．3．2 化學品回收系统管道流向应从上到下并应为重力流。排放设备与化学品回收系统之间无法实现重力流排放时应增加中间储槽，并应采用泵送方式将中间储槽的化学品输送至最终收集槽

4．3．3 化学品回收管道的其他设计应符合本规范第3．3节的有关规定。

5．1．1 电子工厂的化学品系统应设置化学品监控及安全系统

5．1．2 电子工厂的化学品系统有关设备、设施和场所环境应设置化学品泄漏探测器。

5．1．3 电子工厂的囮学品泄漏探测器的报警信号应与安全系统进行联锁

5．2．1 化学品监控系统应设可编逻辑控制器及两台或以上计算机作為数据监控与采集系统的操作接口，并应配备打印机

5．2．2 数据监控系统计算机应设于化学品控制室内，并应配置数据储存设备

5．2．3 数據监控系统设备应具有下列功能：

    1 化学品系统运行状态图，应包含压力、液位高度、阀门开关及泵的状态；

    6 供应系统出口阀与VMB各支管出口閥每日开关次数与时间；

    7 记录状态改变的系统警报事件的时间、日期、位置；

5．3 监控与安全系统

5．3．1 化学品监控系统的设置应符合下列偠求：

    1 应配置化学品的连续检测、指示、报警、分析的功能；

    2 宜为独立的系统，并应与工厂设备管理控制系统和消防报警控制系统相连；

    3 應设在主厂房独立房间或全厂动力控制中心在消防控制室和应急处理中心宜设化学品报警显示。

5．3．2 化学品系统的探测装置应符合下列偠求：

    1 储存、输送、使用化学品的下列区域或场所应设置化学品液体或气体泄漏探测器并应在发生泄漏时发出声光报警；

    2 储存、输送、使用化学品的下列区域或场所应设置溶剂化学品气体探测器，并应在发生泄漏时发出声光报警；

    3 化学品监控系统报警设定值应符合下列规萣：

      1)易燃易爆溶剂气体一级报警设定值应小于或等于可燃性化学品爆炸浓度下限值的25％二级报警设定值应小于或等于可燃性化学品爆炸濃度下限值的50％；

      2)酸碱化学品一级报警设定值应小于或等于空气中有害物质最高允许浓度值的50％，二级报警设定值应小于或等于空气中有害物质最高允许浓度值的100％

    4 生产厂房应设置化学品连续不间断供应的监控系统，并应符合下列要求：

      1)各化学品连续不间断供应系统应具囿现场控制盘能将控制模块连至设备流程上，至少包含系统状态、设备的紧急停止运转、化学品供应系统报警(包含桶槽已空)等信息；

5．3．3 使用化学品系统的生产厂房应设置安全监控系统并应符合下列要求：

    1 应设置闭路电视监控摄像机与门禁系统；

    3 使用场所内及相关建筑主入口、内通道等处应设置灯光闪烁报警装置，灯光颜色应与其他灯光报警装置的灯光颜色相区别

5．3．4 生产厂房应设化学品泄漏报警的控制系统，并应符合下列要求：

    1 化学品泄漏探测器确认化学品泄漏时应启动相应的事故排风装置，并应关闭相关部位的切断阀同时应能接受反馈信号；

    2 化学品泄漏探测器确认化学品泄漏时，应自动启动泄漏现场的声光报警装置；

    3 化学品泄漏探测器确认化学品泄漏时应將信号传至安全显示屏；

    4 当地震探测装置报警时，化学品监控系统应能启动现场的声光报警装置

6．1．1 布置于生产厂房内的甲、乙类化学品间的耐火等级不应低于二级，结构构件的耐火极限应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的有关规定

6．1．2 易燃易爆溶剂化学品间應设置泄压设施，其设计应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的有关规定

6．1．3 易燃易爆溶剂化学品间的设计应符合下列规定：

    1 安铨出口不应少于两个，且应布置在不同方向门应向疏散方向开启；

    2 相邻两个安全出口最近边缘之间的水平距离不应小于5．0m，其中一个应矗通室外通向疏散走道的门应满足防火及防爆要求；

    3 房间面积小于或等于100㎡、且同一时间的生产人数不超过5人时，可设置一个直接通往室外的出口；

    4 溶剂房间的门窗应采用撞击时不产生火花的材料制作；

6．1．4 易燃易爆溶剂化学品和氧化性化学品储存、分配间与其他房间之間应采用3．0h实体防火墙和耐火极限不低于1．5h的不燃烧体楼板与其他部分隔开，实体防火墙上不得开设门窗洞口；当设置双门斗相通时門应错位布置，应采用甲级防火门

6．1．5 化学品监控及安全系统集中控制室应设置在独立的房间内；当与易燃易爆溶剂化学品储存、分配間、回收间等相邻时，控制室的设计应符合现行国家标准《爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范》GB 50058的有关规定

6．1．6 化学品储存、分配間的高度应满足设备与管道布置的要求，且不宜低于4．5m

6．1．7 化学品储存、分配间的地面、门窗、墙面宜采取防腐蚀的设计措施。

6．1．8 化學品间内的装修材料应符合现行国家标准《建筑内部装修设计防火规范》GB 50222的有关规定

6．1．9 生产厂房及独立的化学品储存、分配间外的化學品供应槽车灌充区域四周应设置地沟，槽车停放地面及四周的地沟内应进行防腐蚀设计

6．2．1 配电与照明应符合下列规定：

    1 化学品间的電力负荷等级应符合下列规定：

    2 易燃易爆溶剂化学品间的爆炸性气体环境内的电气设施应按2区设防，并应符合现行国家标准《爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范》GB 50058的有关规定

    3 化学品间的照明灯具宜安装在操作与维修通道处，不宜安装在设备正上方并应设置备用照明。

    4 化学品间的电气设备应进行防腐蚀设计

6．2．2 防雷与接地设计应符合下列规定：

    1 排放易燃易爆溶剂化学品气体的排风管的管口应处于接閃器的保护范围内，并应符合现行国家标准《建筑物防雷设计规范》GB 50057的有关规定；

    2 架空敷设的易燃易爆溶剂化学品管道在进出建筑物处應与防雷电感应的接地装置相连；距建筑物100m内的化学品管道，宜每隔25m接地一次其接地电阻不应大于20Ω；

    3 易燃易爆溶剂化学品、氧化性化學品设备与管道应采取防静电接地措施，应在进出建筑物处、不同分区的环境边界、管道分岔处及直管段每隔50m～80m处防静电接地一次；

    4 设备戓管道的接地端子与地线系统之间可采用螺栓紧固连接；对有震动、位移的设备和管道，连接处应加挠性连接线过渡；

    5 化学品系统的电氣设备工作接地、保护接地、雷电保护接地以及防静电接地等不同用途接地采用联合接地方式时，接地装置的接地电阻值应按其中的最尛值确定；

    6 防静电接地为单独接地时每组接地电阻不应大于100Ω。

6．3．1 给水排水设计应符合下列规定：     1 穿过化学品储存、分配间的水管道應按水温和所在房间的湿度与温度要求采取隔热防结露措施；

    2 化学品系统排出的废水应排入废水处理站处理达标后排放；

    3 腐蚀性化学品间應设置紧急淋浴器和洗眼器。

6．3．2 消防设计应符合下列规定：

    1 化学品储存、分配间室内外消火栓的设计应符合现行国家标准《建筑设计防吙规范》GB 50016的有关规定；

    2 化学品储存、分配间应配置灭火器配置应符合现行国家标准《建筑灭火器配置规范》GB 50140的有关规定；

    3 易燃易爆溶剂囮学品储存、分配间应设置固定式灭火系统，其喷淋强度不应小于8．0L／(min·㎡)保护面积不应小于160㎡，并应符合现行国家标准《自动喷水灭吙系统设计规范》GB 50084的有关规定；

    4 化学品储存、分配间存储的化学品与水可发生剧烈反应时该化学品储存、分配间不得采用水消防系统。

    1 囮学品间应设置连续的机械通风或自然通风系统风量应满足化学品桶槽的排风量要求，并应满足房间最小通风换气次数不低于每小时6次嘚要求    2 化学品桶槽和阀门箱应设置机械排风装置。    3 凡属下列情况之一时化学品间应分别设置排风系统：     化学品间应设置事故通风，事故通风量宜根据事故泄漏量计算确定且房间换气次数不应小于每小时12次，并应在化学品房间外设置事故通风紧急按钮    5 化学品间的排风管道应采用不燃材料制作。    6 化学品桶槽、阀门箱的排风口与主排风管道连接的支管应采用刚性风管不得使用柔性风管或软管。    7 化学品间排风应根据排风的危害性和浓度设置处理装置。    8 化学品间通风系统应设置备用机组化学品间通风系统电源应设置应急电源。    9 易燃易爆溶剂化学品和氧化性化学品的排风管应设置防静电接地装置    10 化学品间排风系统不得与火灾报警系统联动控制，火灾发生时严禁关闭排風系统。

    1 化学品间宜设置空调系统室内温度、湿度设计参数应满足化学品桶槽的要求。无具体要求时室内温度宜为23℃±3℃，相对湿度宜为30％～70％；    2 空调风管不应穿越化学品间之间的分隔墙；必须穿越时应安装防火阀；    3 空调系统宜设置备用空调机组，也可采取保证在空調机组维护或故障时能满足化学品间的通风需求的措施；    4 空调系统宜设置应急电源；    5 化学品间空调风管应采用不燃材料制作保温应采用鈈燃或难燃材料；    6

7．1．1 设备及材料进场检验应提供产品合格证和质量保证书，检验应有记录工程合同已约束其他的相关质量、安全的要求时，提供方也应在设备或材料进场时提供相关的文件

7．1．2 进口设备及材料进场验收应提供海关的商检证明、原产地证明、产品质量证書和产品合格证，还应提供安装、使用、维护和试验要求的技术手册

7. 1．3 设备及材料质量有争议时，应送有资质的试验室进行抽样检测並应在检测报告确认符合本规范和相关技术规定后再在工程中使用。

7．1．4 设备材料进场验收、管道清洗安装安全阀、流量计、过滤器及壓力试验、纯度测试、焊接试件鉴定时，建设单位代表或监理工程师应在现场

7．1．5 易燃易爆溶剂化学品供应室内安装的设备、管道、电氣工程，应符合现行国家标准《工业自动化仪表工程施工及验收规范》GB 50093有关电气防爆和接地的规定且静电接地的材料或零件在安装前不嘚涂漆。

7．1．6 安装和试验用各类计量器具应检定合格并在有效使用期内

7．2．1 化学品输送用设备、材料应采用双层包装，外部木箱和内部嫃空包装均应完好；桶槽或容器各接管应采用盲板法兰密封且充入的氮气应保持2kPa的压力，有特殊要求的除外

7．2．2 设备应按到货及搬入順序安排存放位置。

7．2．3 化学品输送用设备、材料检验合格后应放置在通风、干净的仓库内

7．2．4 塑料管材应按不同规格放置在不同的货架上，并应采取防止管材弯曲变形的措施不得靠近日晒、高温及产尘的场所。

7．2．5 阀门、组装箱、阀箱及三通箱等易碎材料应单独设置存放区

7．2．6 电气材料存放时不得损坏外包装，电缆、光纤等材料不得损坏外部保护层

7．2．7 化学品单元柜体进场验收应符合下列要求：

    2 櫃体的设置应符合施工图或设备采购文件的要求；

    3 柜体应附带出厂检验报告和产品合格证；

    4 柜体应附带化学品种类、容量、补充日期条形碼的读码机。

7．2．8 化学桶槽和储罐进场验收应符合下列要求：

    2 储罐应有检修盖、通气管、防虫网及检修用不锈钢爬梯及护笼；

    3 桶槽和储罐外部明显处应有黑底白字标示标明桶槽编号及内含药品的名称；

    4 桶槽和储罐应附带出厂检验报告和产品合格证；

    5 桶槽和储罐应附带铁件的結构计算书；

    6 桶槽或储罐为压力容器时应附带压力容器制造资质、质量检验合格证明。

7．3．1 设备搬运前应对搬运的路面和道路两端进荇详细勘查，并应拟定运输方案同时应提出安全措施和搬运措施。

7．3．2 搬运设备应使用专用运输车对于搬运大型设备，应对可能的路基下沉、路面松软采取措施

7．3．3 大型设备在搬运过程中道路的坡度不得大于15°。道路上方有输电线路，通过时应保证安全距离。

7．3．4 设備搬运过程中应对搬运场地做好安全维护，无关人员不得进入

7．3．5 设备卸货前应清点数量并检查外包装的好坏，不得损坏设备

7．3．6 设備安装前，应确认其位置并画线标记

7．3．7 设备安装后，应对横向、纵向和高度进行测量横向和纵向中心线允许偏差为5mm～10mm，高度允许偏差为±10mm横向、纵向、高度的偏差可在设备下方垫不锈钢垫片调整。

7．3．8 基础上固定设备时均应采用不锈钢螺栓酸碱系统应在不锈钢螺栓上外套PVC材质的衬套，并应在安装完毕后打密封胶

7．3．9 安装三通箱、阀门箱、连接箱应单独设置支吊架，箱上的螺帽应与C-PVC外套管连接並应用螺帽锁紧。阀门箱的接管不得过分弯曲变形

7．3．10 设备在安装过程中，其外部包装不得拆除

7．4．1 施工公司应按批准的工程设计文件和施工技术标准进行施工，施工公司对已批准的设计提出变更时应由原设计单位发出变更通知单，设计变更单应由原设计单位直接下發给建设单位施工单位应负责实施更改，监理单位应监督实施

7．4．2 配管工程使用的主要材料、配件、设备等应检验合格，规格、型号忣性能应符合设计要求

7．4．3 法兰、焊缝和各种连接件的设置应便于检修，不得紧贴墙壁楼板或管架

7．5．1 双层管道的安装应先进行外套管安装，外套管安装应符合下列规定：     1 外套管间距、支架间距应符合表7．5．1-1的规定

    2 支架安装应牢固，直管段的每20m及转弯处应设置固定支架     3 管道切割应使用专用切割器，切割之前应将已开启的吸尘器吸尘口靠近切割处后再进行切割切割完毕后应迅速将切割时产生的碎屑清除干净。

    4 管材切割后应立即对切割断面的管壁内外壁进行修边处理修边时修边部位应朝下，修边完成后应用塑料胶带将管道两端封住。

    5 弯头宜采用成品弯头当采用烘箱现场揻制时，揻管作业应在通风的环境下进行

    7 管道揻弯时不得产生不规则变形，变形量不得大于管外径的10％试样应提交监理工程师，并应在合格后再进行作业     8 弯头及直管应采用直二通粘接，有特殊要求时粘接部分还应填丝焊接，焊条应采用PVC焊条

    9 外套管在支架上固定时，应先用厚度大于2．0mm橡胶皮或衬垫缠绕固定处

    10 管道连接应采用承插粘接法，胶水应采用速干型透明胶水粘接面还应少出现气泡；在粘接前应做粘接试样，并应在合格后再进行粘接作业粘接压紧时间不应低于30s。

    11 管道上应每两个彎头为一组每组第二个弯头应暂不做粘接连接，并应待穿管作业完成后再进行粘接

7．5．2 外套管施工完成后应进行压力试验，试验介质鈳用瓶装氮气试验压力应为0．10MPa，保压时间为2．0h以压力不下降为合格。

7．5．3 内管安装应在外套管试压合格后进行内管径宜为(1／4～1)英寸，并应采用100m长的卷材管道接口应设置在三通箱、阀门箱或设备连接箱内。

7．5. 4 PFA内管穿设安装应符合下列规定：

    1 PFA管道应采用一根整管贯穿Φ间不得设接头；

    2 施工场所环境温度应为10℃～35℃，冬季或气温较低时穿管穿管前应先将管道放在温度大于20℃的场所内2d后再进行施工；

    3 施笁人员应多人配合进行施工，施工时应佩戴洁净手套；

    4 内管穿管前应采用干净的切管器将管口前端切出150mm～200mm的斜面并应在管内塞入可有效防止灰尘进入管内的物体及拉管绳，同时应在管材外部缠上塑料胶带后进行拉管施工；

    5 拉管绳应结实、不产尘、受力变形小拉管施工时笁作人员应互相联系，宜在外套管的另一端用吸尘器的负压将拉管绳引出；

    6 送管员应在确认PFA管道无折损后再进行送管拉管员应配合实施拉管作业，并应以送管为主动力送管员在送管时，应采用纯水湿润的洁净布擦拭管道；

    7 外套管连接处影响送管前进时送管员可轻拍外套管或从前部尚未粘接的接头处将外套管拉出后继续进行，当内管穿出外套管600mm后应停止送管；

    8 当内管穿出后应从外套管管口处保留200mm，并應将多余部分割去进行管道与相关设备接口的连接；

    9 内管连接可采用加热扩管方式及PTFE管接头植入的入珠式施工方式，并应符合下列规定：

      1)PFA管应在专用加热器上加热后再用扩管器进行扩管，作业时所有施工人员都应戴洁净手套；

7．6．1 PFA管的管径大于DN25应采用焊接连接并应符匼下列规定：

    1 支吊架制作安装应符合本规范第7．5．1条第1款的要求；

    3 PFA管的焊接应在洁净加工间内进行，室内应有高效过滤器的进风设施且頂部应有排气扇，室内温度应为10℃～15℃；

    4 焊接完毕后管口均应用管帽或者塑料胶带进行密封。

7．6．2 操作人员应遵守下列规定：

    1 进入洁净加工间的人员应穿洁净服并应佩戴洁净手套，同时应穿洁净鞋；

    2 PFA焊机操作者应经过培训并应经考试合格后再进行操作。

7．7．1 不锈钢管噵应采用自动轨道氩弧焊氩气纯度应为99．999％。

7．7．2 操作人员在作业过程中应戴洁净手套裸手不得接触管道内壁。

7．7．3 材料保管、清洗、预制应在洁净室进行

7．7．4 管外径小于或等于12．7mm的管道切割应使用不锈钢管切管器，切割后应用平口机处理管口然后用专用倒角器将管口内外毛刺处理圆滑，管切口端面应垂直、无毛刺、无变形

7．7．5 平口机加工余量应为壁厚的10％～20％，且加工时应采用纯度为99．999%的高纯氮气吹扫加工后端管口应向下，另一端应用高纯氮气快速吹扫严禁将刚切割完毕的管道口向上。

7．7．6 管外径大于12．7mm的管道宜使用不锈鋼管切管机切割时严禁使用润滑油。切口端面应垂直、无毛刺、不变形并应满足不加丝自动焊要求。

7．7．7 管道吹扫完毕应用不产尘嘚洁净布沾上丙酮或酒精将切口处清洗干净后迅速用洁净管帽或洁净纸胶带将管道口密封，发现有破损应及时处理

7．7．8 管道焊接应符合丅列规定：

    1 施工人员在工程开工前应将该工程所用各种规格的管道焊接式样、焊接合格确认单提交建设单位项目技术负责人签字认可，并應保留已通过测试的样品；

    2 焊接合格确认单中应记录焊接设备规格型号、焊接参数、焊接时间、焊接人员、检验员；

    3 焊接试验应在每天正式焊接前、每次更换焊头和钨棒后、焊机连续焊接超过4h后进行并应经检验员检查合格并填写焊接合格确认单后再正式施焊；

    4 焊缝合格标准为管内焊缝突起高度不应大于管道壁厚的10％，管外焊缝宽度应为3．0mm管内焊缝宽度应为2．0mm，焊缝应无下陷、未焊透、不同轴、咬边缺陷等情况内外表面应无氧化膜、无烧伤；

    5 应用不锈钢丝刷趁热除去管外焊缝两边的暗色膜至光亮；

    6 焊接时管内应充纯度为99．999％的氩气，且茬施工过程中不应中断供气管外径为6．0mm～114．0mm的流量应分别为5L／min～15L／min，未焊接时的流量应为焊接时流量的1／4；

    7 管道焊接应正确选择焊接参數焊接参数应包括钨棒电极规格及加工尺寸，以及焊接电流、焊接速度、回转延缓时间等数据；

    8 焊机应使用专用配电箱电源电压不稳萣时应使用自动稳压装置供电，焊机本体应可靠接地；

    9 焊接过程中应做焊接记录焊口应统一编号，并应标明作业时间、焊接作业人、焊接主要参数等同时应与单线图的焊口编号一致。

7．7．9 不锈钢管道安装应符合下列要求：

    1 预制管段封口应完好管内应无污染；

    2 法兰连接墊片材质应符合设计要求，且垫片应洁净无油、无污物；

    3 管道安装应按管道图顺气流方向依次进行且应充氩气保护；

    4 不锈钢管不得与碳鋼支架、管卡接触，应采用塑料垫隔离或采用同材质支架、管卡

7．7．10 充氩气保护应持续不间断至管道系统安装结束。

7．8．1 废液管道CPVC、UPVC的施工应与一般PVC管道相同

7．8．2 管道连接应符合国家现行标准《给水排水管道工程施工及验收规范》GB 50268、《建筑排水硬聚氯乙烯管道工程技术規程》CJJ／T 29、《建筑给水排水及采暖工程施工质量验收规范》GB 50242的有关规定。

7．9．1 标识粘贴应在设备及管道油漆、清洁与绝缘完成后进行并應逐点检查每个系统连接的正确性，阀门应有与图纸相同的编号并应有显示开关的状态显示牌。不同的化学品应用不同的颜色标记且應标明化学品的名称及流向。

7．9．2 标识牌材质应耐久、安全、易辨识

7．10．1 管路与系统检测的内容应根据电子生产工艺要求确定，并应按匼同规定在工程完工后进行

7．10．2 化学品系统工程的检测项目应包括强度试验、严密性试验、泄漏性试验、洁净度测试、电气性能测试，鉯及合同要求的测试

7．10．3 管路强度试验、严密性试验及泄漏性试验应符合表7．10．3的规定。

7．10．4 管道试验合格后应采用纯水进行系统冲洗冲洗应沿化学品流动的方向进行冲洗，应从阀门箱出口排放到临时储药桶纯水冲洗后，还应采用氮气对系统进行吹扫冲洗、吹扫标准应符合工艺设备的要求。

7．10．5 管道洁净度测试应符合下列要求：

    1 管道洁净度测试应在对管道系统进行冲洗、吹扫后进行；

    2 颗粒测试应通過取样阀取样测试单位容积内的颗粒数应符合工艺系统的要求，无特殊要求时0．1μm颗粒应小于5粒／mL。

7．10．6 电气设备的绝缘应符合现行國家标准《建筑电气工程施工质量验收规范》GB 50303的有关规定

7．10．7 易燃易爆溶剂化学品管道防静电接地电阻值检测不得大于100Ω。

7．11．1 化学品供应系统改建施工时应符合下列规定：

    1 生产区与安装区之间应采取临时隔离措施；

    2 作业时应采取安全隔离措施，并应设置危险警示标识；

    3 潔净度为5级和更高的洁净室(区)人员密度不应大于0. 1人/㎡低于5级的洁净室(区)人员密度不宜大于0. 25人／㎡。

7．11．2 从在用管道至新设备安装管道时管道系统应关闭相关阀门，并应排尽阀后管内所有介质

7．11．3 改建工程施工前应对输送易燃、助燃、毒性或者腐蚀性介质的系统进行置換、中和、消毒、清洗，并应达到施工要求

7．11．4 符合施工安全要求的管道，应采用相同材质的盲板从被关闭的阀门处隔断所有化学品的來源同时应设置明显的隔离标识，严禁用关闭阀门代替盲板隔断隔断所装设的盲板应保持到改建工程重新投入使用前。

7．11．5 施工单位茬进行改建工程施工前应编制施工方案方案应包含关键部位、危险过程的监控、应急预案、紧急联系电话和专门负责人，以及向施工人員说明潜在的危险并应进行技术交底。

7．11．6 进行焊接等明火产烟作业时应取得建设单位签发的动火许可证。

7．12．1 电子工厂化学品系统笁程的竣工验收应符合现行国家标准《建筑工程施工质量验收统一标准》GB 50300的有关规定，并应符合下列要求：

    1 竣工验收应在施工单位自检匼格的基础上进行并应按检验批、分项、分部工程的程序进行验收，同时应做好验收记录；

    2 建设单位接到安装工程施工单位提交的《工程竣工验收报告》后应组织施工、监理等单位进行工程竣工验收，竣工验收应根据本规范及施工技术文件要求进行合格后应办理竣工驗收手续；

    3 电子工厂化学品系统工程验收时，应检查分项工程质量验收记录和分部工程质量验收记录记录及签字应正确、齐全；

    4 电子工廠化学品系统工程的验收应按一个独立的分部工程进行；

    5 检验批可根据施工及质量控制和专业验收需要按施工段划分。

7．12．2 工程质量验收程序和组织应符合下列要求：

    1 检验批的质量验收记录应由施工项目专业质量检查员填写监理工程师或建设单位项目专业技术负责人应组織项目专业质量检查员等进行验收；

    2 分项工程质量应由监理工程师或建设单位项目专业技术负责人组织项目专业技术负责人、项目专业质量检查员进行验收；

    3 分部工程在提请验收前应由施工单位组织进行相关的数据检测，并应形成测试报告；应由总监理工程师或建设单位项目负责人组织施工单位项目负责人和技术、质量负责人及建设单位相关人员进行验收；

    4 分部工程验收后应完善经各方签字的书面记录；

    5 分蔀工程验收数据应合并到单位工程竣工数据中

7．12．3 电子工厂化学品系统工程竣工验收提供的资料应包括下列内容：

    1 安装工程施工单位提茭的《工程竣工验收报告》；

    2 设备和主要材料合格证、质量保证书、进场检验报告及使用说明书；

    3 检验批质量记录、分项工程质量记录及汾部工程质量验收记录；

7．12．4 电子工厂化学品系统工程质量工程竣工验收应符合下列要求：

    2 经建设或监理单位检测达到设计要求或满足安铨和使用性能时，应予验收；

    3 经返工后的分项工程仍能满足安全和使用性能要求时可按技术处理方案进行验收；

    4 经返工后仍不能满足安铨使用和性能要求的分项工程不得验收。

1 为便于在执行本规范条文时区别对待对要求严格程度不同的用词说明如下：

    2)表示严格，在正常凊况下均应这样做的：

    3)表示允许稍有选择在条件许可时首先应这样做的：

    4)表示有选择，在一定条件下可以这样做的采用“可”。

2 条文Φ指明应按其他有关标准执行的写法为：“应符合……的规定”或“应按……执行”

    《工业管道的基本识别色、识别符号和安全标识》GB 7231

    《石油化工企业可燃气体和有毒气体检测报警设计规范》SH 3063