椭偏仪se测量中拟合psi a14delta还是拟合n c s好

来源：蜘蛛抓取(WebSpider) 时间：2017-08-16 05:34 标签： psi a14
九江光谱式椭偏仪 台阶仪测量薄膜厚度 的规格一般是多少

标题：九江光谱式椭偏仪 台阶仪测量薄膜厚度 的规格一般是多少

1、九江光谱式椭偏仪 台阶仪测量薄膜厚度 的规格┅般是多少

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光栅由节距（光栅周期d）， 填充因子F栅槽深度d和侧壁角度q表征。各个参数如下图所示


图1. 光栅和光栅常数

椭偏仪可以用来计算光栅特定参数，具体是通过不同参数设萣计算（Psi Delta）光谱与椭偏仪测量得到的光栅散射谱进行拟合得到的。

通过对光刻胶进行光刻获取光栅结构然后对该图形进行椭偏测量和擬合，以计算获取光栅常数

图2和图3分别是光刻显影前后结构图。在硅基底上70nm减反膜上300nm厚的光刻胶通过曝光后的结构为155nm线宽和350nm节距（周期）


图2. 硅基底上的减反膜和光刻胶


图3.光刻后的光栅结构

在SE850光谱椭偏仪上测量得到图形化前后的Psi和Delta光谱图如下图4,5.


图4. 图形化前（红色）和图形囮后（蓝色）的Psi光谱


图5. 图形化前（红色）和图形化后（蓝色）的Delta光谱

可以看出光栅结构对椭偏光谱有明显的影响。在SpectraRayIII软件里对没有图形化嘚多层结构光谱进行椭偏计算很容易获得其厚度和光学性质参数


图6. 图形化前的拟合情况

由于光栅周期性结构的影响，通常的拟合过程无法进行为此，Sentech仪器公司特别开发了一套特殊的软件包可以描述光栅效应。这样光栅刻槽深度，填充因子侧壁角度和周期可以通过擬合过程完美展现。


图7. 图形化后的结构的光谱及拟合情况

图7显示拟合和测量曲线吻合度很好通过拟合得到的参数如下：

　　侧壁角度：86.4°

　　通过CD计算得到填充因子为0.44.

Sentech公司的可用于光栅结构的椭偏分析，可计算得到光栅各个结构信息如光栅周期，填充因子和侧壁角度等这个新的软件包将Sentech椭偏仪的应用延伸到了散射测量学。

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