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低K芯片切割项目质量优化研究论文.pdf 74页
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上海交通大学
硕士学位论文
低K芯片切割项目质量优化研究
姓名：徐高庆
申请学位级别：硕士
专业：项目管理
指导教师：栾军;曹持论
上海交通大学工程硕士学位论文
低K 芯片切割项目质量优化研究
当前国际上先进封装企业已经对低 k 芯片以及封装有着一定深度的
研究，而国内封装企业普遍对低 k 芯片材料接触还较少，应用研究也基
本处于空白状态。因而，我们有必要通过本课题的研究，熟悉消化国际
上先进的封装经验和现代项目管理模式与经验，并培养我们本地化的技
术人才与项目管理人才。
本课题是安靠技术公司对低 k 芯片切割工艺进行质量优化研究并进
而验证低 k 芯片切割过程能力的跨部门的质量研究项目。作者根据多年
来的半导体专业知识经验和现代项目管理知识学习，结合 IT项目实际，
按照项目管理模式进行管理的国际通用做法，决定采用称为 TFT（Task
Force Team）的强矩阵的项目组织结构建立并完成项目的运行；本项目
的质量管理贯彻全面质量管理的思想，实行全要素、全人员和全过程的
管理。应用的主要方法工具有：里程碑，工作分解结构（WBS），责任分
配矩阵，甘特图，鱼刺图、项目报告，正交试验设计，控制图，过程能
力指数分析等。
本文重点分析了低 k 芯片切割的工艺机理、质量特性；主要阐述了
芯片切割试验设计（DOE）的试验模型，运用试验设计理论和正交试验设
计表，借助世界上最先进的6Sigma 质量处理软件JMP 的筛选设计、定制
设计功能优化出一套稳健的项目工艺条件；最后采用 SPC 工具的休哈特
控制图研究过程的稳健程度，验证过程能力，达到了项目预定的目标CPK
上海交通大学工程硕士学位论文
大于或者等于 2.0 指标，和良好的成本效益；显示了项目质量管理模式
优化工艺质量是可行的，也是必然的质量管理趋势。
关键词：低 k 芯片切割，金属层分层剥离，试验设计，统计过程控
上海交通大学工程硕士学位论文
LOW-K WAFER DICING PROJECT OPTIMIZATION STUDY
Low-k application including in assembly process is sucussful
China.So,we would benchmark international experience to study
technology
management
experience as well as training our localized technical engineer
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This paper described the cross-function project of quality
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公司地址|江苏 苏州 姑苏区 工业园区葑亭大道666号天翔产业园2/118
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苏州三岩芯电子科技有限公司，是中国本地自动化维修领域早期服务公司之一，
公司主要从事工厂自动化产品硬件技术解决方案，公司一直本着以客户为先、技术为本的服务原则，为1000多家企业提供了专业的自动化维修和产品供应服务；从现场服务到室内维修，从备件更换及销售到服务合同，我们以主动和创新技术实现双赢的服务战略。随着工业自动化集成度越来越高，在中国应用的日益广泛以及客户对高水准服务需求的不断增加，我们的服务业务类型也在不断完善，对服务质量的追求更是永无止境，限度确保设备正常运转，从而减少机器故障停机所带来的损失降至***低。客户的满意是对我们的肯定和鼓励。我们安排专业客服对每一个客户跟踪服务，及时受理客户投诉。根据客户反馈意见，持续不断地提高服务质量，实现尽我全力，为您满意！
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江苏 苏州 姑苏区 工业园区葑亭大道666号天翔产业园2/118
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RTA200-SAVC-W
芯片製造部
Giant-tek Corporation
纸档说明书 *1
Sputter 鍍膜濺鍍機
芯片製造部
ULVAC, Inc.
纸档说明书 *3
TJ熱阻量測儀器
紙档说明书*0
TLM手動點側機
芯片製造部
紙档说明书*0
芯片製造部
創技工業股份有限公司
纸档说明书 *3
芯片製造部
創技工業股份有限公司
纸档说明书 *3
不間斷電源
蘇州日野電機有限公司
紙档说明书*0
化學有機-wafer clean bench
芯片製造部
錫宬科技有限公司
纸档说明书 *0
化學有機-去膠bench
芯片製造部
錫宬科技有限公司
纸档说明书 *0
化學酸bench
芯片製造部
錫宬科技有限公司
纸档说明书 *0
手動上光阻機
WA-400A-6NPP
芯片製造部
纸档说明书 *0
手動晶粒Counter機
芯片製造部
揚光科技有限公司
纸档说明书 *0
手動點測機
惠特科技股份有限公司
紙档说明书*0
手動翻轉機
芯片製造部
里德科技股份有限公司
纸档说明书 *0
手動翻轉機
芯片製造部
里德科技股份有限公司
紙档说明书*0
手動翻轉機
芯片製造部
里德科技股份有限公司
紙档说明书*0
手動曝光機
芯片製造部
纸档说明书 *0
手提式溫濕度露點計(含軟體)
北京羅杰卓越科技有限公司
紙档说明书*0
LABTECH/EH20B
芯片製造部
西安時和儀器設備有限責任公司
纸档说明书 *0
LABTECH/EH20B
芯片製造部
西安時和儀器設備有限責任公司
纸档说明书 *0
西安時和儀器設備有限責任公司
紙档说明书*1
產品開發部
西安時和儀器設備有限責任公司
紙档说明书*0
LABTECH/EH20B
芯片製造部
西安時和儀器設備有限責任公司
纸档说明书 *0
半自動推拉力機/影像擷取系統
Condor 100-3,Condor EZ
芯片製造部
XYZTEC B.V
纸档说明书 *2
半自動貼片機
芯片製造部
里德科技股份有限公司
紙档说明书*0
半自動貼片機
芯片製造部
里德科技股份有限公司
紙档说明书*0
半自動貼膜機
芯片製造部
里德科技股份有限公司
紙档说明书*0
半自動貼膜機
芯片製造部
里德科技股份有限公司
紙档说明书*0
半自動貼膜機
芯片製造部
里德科技股份有限公司
紙档说明书*0
半自動貼膜機
芯片製造部
里德科技股份有限公司
紙档说明书*0
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *4
半自動點測機
惠特科技股份有限公司
紙档说明书*1
半自動擴張機
FSEPM-T2-8
芯片製造部
里德科技股份有限公司
紙档说明书*0
半自動擴張機
FSEPM-T2-8
芯片製造部
里德科技股份有限公司
紙档说明书*0
去PR bench
芯片製造部
錫宬科技有限公司
纸档说明书 *0
去PR bench
芯片製造部
錫宬科技有限公司
纸档说明书 *0
四點探針面電阻測試儀
Mdel 5601Y/QT-50
芯片製造部
德儀國際貿易（上海）有限公司
纸档说明书 *1
打線機簡式夾持治具
SUPER POWER PRECISION CO,LTD.
紙档说明书*0
示玻器(品保用)
宇宏企業股份有限公司RADIOTEK C
紙档说明书*0
全光譜反射式膜厚測量儀(uv+vis)
SCI-FilmTek1500
芯片製造部
Quatek Inc.
纸档说明书 *1
全自動晶粒Counter貼標機
芯片製造部
揚光科技有限公司
纸档说明书 *0
全自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *1
全自動點測機
芯片製造部
惠特科技股份有限公司
纸档说明书 *1
BCD-226SLN
產品開發部
西安寧亞辦公設備有限公司
紙档说明书*
多點溫溼度紀錄儀
上海亞度電子科技有限公司
紙档说明书*0
有機(研磨) Bench(清洗機)
芯片製造部
錫宬科技有限公司
纸档说明书 *0
有機(顯影) DEV bench
芯片製造部
錫宬科技有限公司
纸档说明书 *0
有機化學清洗機
ORG-1206-AB
芯片製造部
CHONG HO TECHNOLOGY CORP.
纸档说明书 *2
自動上光阻機
MSX1000 3C
芯片製造部
Scientific Value Solutions Corp.
纸档说明书 *2
自動上光阻機
MSX1000 3C
芯片製造部
Scientific Value Solutions Corp.
纸档说明书 *2
自動金線打線機
芯片製造部
Kulicke and Soffa Global Holdi
纸档说明书 *2
自動雷射切割機&
芯片製造部
DISCO CORPORATION
纸档说明书 *7
自動雷射切割機&
芯片製造部
DISCO CORPORATION
纸档说明书 *7
自動雷射切割機&
芯片製造部
DISCO CORPORATION
纸档说明书 *7
自動雷射切割機&
芯片製造部
DISCO CORPORATION
纸档说明书 *7
自動雷射切割機&
芯片製造部
DISCO CORPORATION
纸档说明书 *7
自動雷射切割機&
芯片製造部
DISCO CORPORATION
纸档说明书 *7
自動雷射切割機&
芯片製造部
DISCO CORPORATION
纸档说明书 *7
自動顯影機
MSX1000 3D
芯片製造部
Scientific Value Solutions Corp.
纸档说明书 *2
自動顯影機
MSX1000 3D
芯片製造部
Scientific Value Solutions Corp.
纸档说明书 *2
低溫測試機組(350mA)
H-T-2BP-LED80-C
達運工業股份有限公司
紙档说明书*0
Cygnus& Inc
紙档说明书*0
角度分析儀
Rapitech Enterprise Co., Ltd.
紙档说明书*0
南京沃聯科技有限公司
紙档说明书*0
芯片製造部
創技工業股份有限公司
纸档说明书 *3
芯片製造部
創技工業股份有限公司
纸档说明书 *3
芯片圖晶片分類機
芯片製造部
先進自動器材有限公司
纸档说明书 *2
芯片圖晶片分類機
芯片製造部
先進自動器材有限公司
纸档说明书 *2
芯片圖晶片分類機
芯片製造部
先進自動器材有限公司
纸档说明书 *2
芯片圖晶片分類機
芯片製造部
先進自動器材有限公司
纸档说明书 *2
芯片圖晶片分類機
芯片製造部
先進自動器材有限公司
纸档说明书 *2
芯片圖晶片分類機
芯片製造部
先進自動器材有限公司
纸档说明书 *2
金相顯微鏡
芯片製造部
力訓科技有限公司
纸档说明书 *2
金相顯微鏡
芯片製造部
力訓科技有限公司
纸档说明书 *2
金相顯微鏡
芯片製造部
力訓科技有限公司
纸档说明书 *2
金相顯微鏡
芯片製造部
力訓科技有限公司
纸档说明书 *2
金相顯微鏡
芯片製造部
力訓科技有限公司
纸档说明书 *2
金相顯微鏡
芯片製造部
力訓科技有限公司
纸档说明书 *2
金相顯微鏡
芯片製造部
力訓科技有限公司
纸档说明书 *2
金相顯微鏡
芯片製造部
力訓科技有限公司
纸档说明书 *2
金相顯微鏡
力訓科技有限公司
紙档说明书*1
金線打線機
新美化精機工廠股份有限公司
紙档说明书*1
金線打線機
新美化精機工廠股份有限公司
紙档说明书*1
金線打線機
產品開發部
新美化精機工廠股份有限公司
紙档说明书*0
便攜式酸鹼度測試儀
南京沃聯科技有限公司
紙档说明书*0
恆溫恆濕測試機組(350mA)
H-TH-2BP-LED80-C
達運工業股份有限公司
紙档说明书*1
研磨拋光機
HOLY INSTRUMENT CO LTD
紙档说明书*1
芯片製造部
創技工業股份有限公司
纸档说明书 *5
芯片製造部
創技工業股份有限公司
纸档说明书 *5
芯片製造部
創技工業股份有限公司
纸档说明书 *5
芯片製造部
創技工業股份有限公司
纸档说明书 *5
重錘式表面阻扛測試器
昆山華涌淨化設備有限公
紙档说明书*0
芯片製造部
漢唐科技股份有限公司
纸档说明书 *0
芯片製造部
漢唐科技股份有限公司
纸档说明书 *0
芯片製造部
漢唐科技股份有限公司
纸档说明书 *0
深圳市摩典機電五金製品廠
紙档说明书*0
漢唐科技股份有限公司
紙档说明书*0
產品開發部
陝西匯研科技有限公司
紙档说明书*1
高低溫交變濕熱試驗箱
陝西中海遠航電子科技有限公司
紙档说明书*0
高低溫快變試驗箱
陝西中海遠航電子科技有限公司
紙档说明书*0
高溫四槽式bench
芯片製造部
錫宬科技有限公司
纸档说明书 *0
高溫測試機組(350mA)
達運工業股份有限公司
紙档说明书*3
乾蝕刻電漿設備ICP&
芯片製造部
Walsin Lihwa Corporation
纸档说明书 *1
常溫Life測試機組(&100mA)
H-LED-LTS-80
達運工業股份有限公司
紙档说明书*0
常溫Life測試機組(&350mA)
H-LED-LTS-80
達運工業股份有限公司
紙档说明书*0
常溫測試機組
H-LED-LTS-80
昆山九豐精密機械有限公司
紙档说明书*0
常溫測試機組current100-1000mA
H-LED-LTS-80
昆山九豐精密機械有限公司
紙档说明书*0
常溫測試機櫃
H-LED-LTS-80
昆山九豐精密機械有限公司
紙档说明书*0
XYZTEC B.V
紙档说明书*0
SV-702 (M2)
芯片製造部
敦儀科技股份有限公司
纸档说明书 *4
SV-702 (M2)
芯片製造部
敦儀科技股份有限公司
纸档说明书 *4
SV-702 (M2)
芯片製造部
敦儀科技股份有限公司
纸档说明书 *4
SV-702 (M2)
芯片製造部
敦儀科技股份有限公司
纸档说明书 *4
SV-702 (M2)
芯片製造部
敦儀科技股份有限公司
纸档说明书 *4
SV-702 (M2)
芯片製造部
敦儀科技股份有限公司
纸档说明书 *4
SV-702 (M2)
芯片製造部
敦儀科技股份有限公司
纸档说明书 *4
旋風式去鍍層噴洗機
芯片製造部
RICH SOU TECHNOLOGY CO.,LTD
紙档说明书*0
條形碼掃描器
西安漢信自動識別技術有限公司
紙档说明书*0
組合式簡式夾持治具
產品開發部
SUPER POWER PRECISION CO,LTD.
紙档说明书*0
無塵室幹式吸塵器（含HEPA110759E）
芯片製造部
昆山華湧淨化設備有限公司
紙档说明书*0
無塵室幹式吸塵器（含HEPA110759E）
芯片製造部
昆山華湧淨化設備有限公司
紙档说明书*0
無塵室幹式吸塵器（含HEPA110759E）
芯片製造部
昆山華湧淨化設備有限公司
紙档说明书*0
量產電子幾擴散爐管
Lindberg 1200-2
芯片製造部
森積科技有限公司
纸档说明书 *2
量產電子幾擴散爐管
Lindberg 1200-2
芯片製造部
森積科技有限公司
纸档说明书 *2
溫度衝擊機,-70-200℃,&=10s
LEDGON 100
陝西中海遠航電子科技有限公司
紙档说明书*1
溫溼度記錄器
南京沃聯科技有限公司
紙档说明书*0
落地型分光光譜儀
Solidspec-3700
芯片製造部
Shimadzu& Corp.
纸档说明书 *1
產品開發部
陜西環宇儀器設備有限公司
紙档说明书*0
電子式顯微儀((SEM/EDS)
ALLwin Trading Co.,Ltd
紙档说明书*1
電子束&熱阻式蒸鍍機
FU-16PEB-RH-800
芯片製造部
富臨科技工程股份有限公司
紙档说明书*1
電熱板 / 室溫---350度
西安時和儀器設備有限責任公司
紙档说明书*0
實體顯微鏡
芯片製造部
力訓科技有限公司
纸档说明书& *0
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芯片製造部
力訓科技有限公司
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芯片製造部
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力訓科技有限公司
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力訓科技有限公司
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力訓科技有限公司
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力訓科技有限公司
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力訓科技有限公司
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力訓科技有限公司
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力訓科技有限公司
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力訓科技有限公司
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力訓科技有限公司
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力訓科技有限公司
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力訓科技有限公司
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力訓科技有限公司
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實體顯微鏡
力訓科技有限公司
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實體顯微鏡
力訓科技有限公司
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DATAMAX H4310
西安漢信自動識別技術有限公司
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激光打印機&
西安漢信自動識別技術有限公司
紙档说明书*0
積分球&主機&套筒(50cm)(25cm)
方全有限公司
紙档说明书*1
靜電壓測試器
SIMCO FMS-003
昆山華涌淨化設備有限公
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點膠機(封膠)
產品開發部
泓明科技股份有限公司
紙档说明书*1
點膠機(封膠)
產品開發部
泓明科技股份有限公司
紙档说明书*1
離子平衡分析儀
昆山華涌淨化設備有限公
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離子平衡分析儀
昆山華涌淨化設備有限公
紙档说明书*0
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