原标题：上海净化车间装修：半導体净化车间设计方案分享（一）

半导体净化车间设计的设计范围包括：装修方案（围护、地面防水保温处理）暖通方案（空调设备、風管、水管等），特气供应方案（特气柜含保险控制、房间气体监测、EP级管道及BA级管道、供气管路尾气处理）压缩空气方案，废气处理方案（仪器设备POU处理、房间排风废气处理）电气方案（空调设备动力配电等），弱电工程集成控制智能平台，纯水方案（冷却水、去離子水、超纯水、水管等）废水处理。

墙板及吊顶：本工程隔墙采用企口型机制玻镁岩棉夹芯板0.426玻镁岩棉彩钢板符合洁净厂房二级消防要求，玻镁岩棉彩钢夹芯板具有1000℃的耐火性能耐火等级达到A级。岩棉密度：≥1000kg/m?；导热系数：≤0.046w/m.k；燃烧性能：A级（不燃）耐火极限為30~120分钟。广泛应用于食品、电子、医药、饮料、生物研究等行业

地板：车间内采用防静电型PVC地板，其中千级和百级车间采用防静电型架高钢板其它为普通型PVC地板。PVC地板是当今世界上非常流行的一种新型轻体地面装饰材料也称为“轻体地材”使用非常广泛，比如家庭、醫院、学校、办公楼、工厂、公共场所、超市、商业等各种场所

设备：空调制冷负荷：经统计计算，总冷负荷约500KW采用恒温恒湿洁净空調，夏季采用磁悬浮水冷机组冬季采用厂区锅炉热水供热。

风管：风管采用共板法兰风管

水管：空调水管采用无缝钢管。水泵采用星-彡角降压启动

工艺气体种类多，纯度高并且易燃易爆有毒。安全问题突出为保证系统的安全和稳定可靠，建议采用进口成熟产品

洇为 MOCVD 生长使用的源是易燃、易爆、毒性很大的物质，并且要生长多组分、大面积、薄层和超薄层异质材料因此在MOCVD 系统的设计思想上，通瑺要考虑系统密封性要好流量、温度控制要精确，组分变换要迅速系统要紧凑等。核心工作是气体输运系统和尾气处理系统

螺杆式涳压机组主要主要有以下系统组成：空气流程系统、润滑油流程系统、冷却系统、安全保护系统、控制系统及电气线路。螺杆式空压机组主要有压缩机、电动机、空气滤清器、进气阀、油气桶、空气冷却器、润滑油冷却器压力开关、单向阀、储气罐、压力表、自动排水器、咹全阀等设备部件另外在空压机系统中大多配置冷干机和空气干燥器。

由于半导体工艺对操作室清洁度要求极高通常使用风机抽取工藝过程中挥发的各类废气，因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点废气排放也以挥发为主。表中给出了不同生产工藝排放的废气组成这些废气排放主要可以分为四类：酸性气体、碱性气体、有机废气和有毒气体。

生产废气排放源及组成表

对酸性气体、碱性气体的处理一般都采用湿式洗涤塔技术

对于有机废气采用吸附、焚烧或两者相结合的处理方法。因为半导体工艺过程中有机废气具有排放流量大（通常大于11039 m3/小时）和浓度低（通常小于25ppmv）的特点使用其它的处理技术难以达到令人满意的处理效率。沸石浓缩转轮后再吸附或焚烧

以上即是关于半导体净化车间的设计方案部分工程分享，希望今天的分享对您有所帮助在下一次的分享里，SAREN将为您详解电氣工程、弱电系统工程、智能平台、纯水工程及废水处理工程