最小线宽一般是指版图设计时的朂小尺寸 当然,在工艺上这些极限尺寸一般用于光刻套刻的对准游标上。
工艺上一般认为poly的CD就是最小线宽
从器件来讲主要是指栅极長度(一般,栅极长度小于栅极宽度) 从加工精度来讲,主要是指套刻精度(最小间距);最小线宽是引线孔尺寸 因为并无统一的看法,仅供参考