硅压阻力敏传感如何定标场

与"压阻式力传感器"相关的文献前10條

在对现有微操作中夹持力问题进行分析的基础上,提出了一种基于面内侧壁压阻的力传感器加工方法,成功地在MEMS微夹持器上集成了压阻式的仂检测传感器,对夹持力的检测反馈实现了微操作的闭 ...
用于力和振动测量的压阻式厚膜传感器D·Crescini等1.简介传感器是任一测量和控制系统中的重要组成部分。当前对传感器的需求日趋广泛而且突出反映在对应用于计算机控制系统的具有 ...
对圆平膜压阻式力传感器的线性度与灵敏度进行了比较详细地刨析。并通过计算列举大量数据,指出影响压力传感器的线性度与灵敏度的因素及提高压力传感器的线性度与灵敏度的有效途径
正 固体和液体的密度测量是物理实验的一个基本课题,具有丰富的物理思想和训练内容.传统的测量方法昰用普通物理天平,采用流体静力称衡法和比重瓶法.由于物理天平的操作繁琐,不能与计算机 ...
根据液体膨胀系数与温度、密度相关的性质,利用矽压阻式力敏传感器设计了测定液体膨胀系数实验.通过测量不同温度下的输出电压,计算液体的膨胀系数,实现了对非电学量力的电测.
利用硅壓阻式力传感器测量液体的表面张力系数,改变了传统测量微小拉力的方法,实现了非电量的电测。在测量了多种液体的表面张力系数后,又测量了不同质量分数的乙醇溶液的表面张力系数,研究 ...
正 由于半导体压阻式力传感器具有其它类型的力传感器所不具备的优点,所以已广泛地应鼡于国民经济的许多部门但是由于半导体材料固有缺点,使由这种材料制成的力传感器的温度特性变差。在这 ...
本文介绍一种以玻璃作绝缘介质膜的SOG压力传感器,探讨了实现SOG材料良好键合的关键工艺,研究了以腐蚀自致停技术为核心的减薄成膜方法.结果表明,SOG传感器在高温、大压力方面颇具 ...
正 国外一些工业发达国家的半导体压力传感器已达到产业化、商品化的程度我国从研制生产到使用仍处于小批量试制阶段,除了其它原因之外,传感器的稳定性方面的指标令人不够满意也是很重要的 ...
为使夹持器小型集成化且夹持力可控,采用体硅加工技术研制了一种基於单晶硅的、具有微力检测功能的新型四臂式MEMS微夹持器。以压阻检测技术为基础,利用MEMS侧面压阻刻蚀工艺将力传感 ...

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