影响洁净室气流速度单位的因素有哪些

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谈影响洁净室的因素
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谈影响洁净室的因素
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洁净室的气流速度/换气次数,一直是中受到关注的问题,随着洁净室污染源的控制效果增加及末级过滤器效率的提高等,对有关规范、导则等提出的推荐或参考值是否偏于保守,已有不少讨论。
一、有关推荐或参考值的应用
洁净一定洁净度下气流速度的确定,随洁净室用途等具体情况而异,它不仅受室内发尘量及过滤器效率还受其他因素影响,就工业洁净室而言,影响洁净度及选择气流速度的因素主要是:
(1)室内污染源:组件、人员数量及操作活动、设备、工艺材料及工艺加工本身等都是尘粒释放源,根据具体情况而异,变化很大;
(2)室内气流流型及分布:单向流要求均匀、平等的流线,但会受到工艺设备布置和位置变动及人员活动情况等的干扰形成局部涡流;而非单向流要求充混合,避免死角及温度分层;
(3)自净时间(恢复时间)的控制要求:洁净室中事故释放或带入污染物或空气气流的中断或正常操作时的间歇性对流气流或人及设备的移动等都会造成洁净度的恶化,恢复到原来洁净度的自净时间决定于气流速度;对自净时间的控制要求取决于此时间框架内(恶化的洁净度下),对产品生产的质量及成品率影响的承受能力;
(4)末级过滤器的效率:在一定的室内发尘量下,可采用较高效率的过滤器以降低气流速度;为节能应考虑采用较高效率的过滤器,并降低气流速度,或采用较低效率的过滤器并采用较高的气流速度,以求流量与阻力的乘积最小;
(5)经济性考虑:过大的气流速度造成投资及运行费用的增加,合适的气流速度为以上诸因素合理的综合,过大往往不必要,亦不一定有效果;
(6)对洁净度要求低的洁净室,有时换气次数决定于室内排热的要求。
以上因素,皆很难量化,只能分析对比并估计。因此在应用中,对洁净室的气流速度往往参照有关规范、导则等的推荐或参考值,再按具体情况估计以上各影响因素进行综合考虑后确定。
气流速度用于单向流洁净室;非单向流洁净室宜用换气次数,因为其气流速度难于测准;亦有用末级过滤满布率来反映的,可用于各种气流流型的洁净室,一般满布率100%相对于流速0.5m/s(100fpm),25%相对于0.125m/s(25fpm)。
二、对有关推荐或参考值的讨论
近年来不少人通过实验认为这些推荐或参考值过于保守,其论点可归纳为:
(1)洁净室内气流的横向扩散只在甚低的流速下才有可能,单向流在合理的气流组织下,流速0.05~0.1m/s就足够带走污染物,在此流速下亚微米粒子的扩散性能远低于对流性能;而大于0.36m/s的气流速度反而易千百万涡流,引起污染物的再卷入。因此,洁净室的理想自净时间Tr=体积/流率,到一定值后由于污染物的再卷入,再增大气流速度,实际的Tr并不再有明显的减少。
(2)末级过滤器的效率对洁净度的影响是值得起注意的。有的气流速度/换气次数推荐或参考值对末级过滤器效率提高的因素往往没作考虑。当前HEPA/ULPA的效率从99.67%、99.99%、99.999%、99.9995%直至8个9以上都可选择。其效率对气流速度的影响除以上已提及外,以下方面亦值得引起注意,在非单向流情况下,按衡释原理的洁净室内含尘浓度稳定公式可以得出:
(a)室内发尘量较高时,末级过滤器效率的变化对洁净度影响甚微,因此在这种情况下,过高的过滤效率是无必要的。
(b)室内发生尘量较低的情况下,采用低的气流速度下,末级过滤器效率的变速器变化,对洁净度的影响增大。
新风进末过滤器前的含尘浓度1.75×106个/m3
室内发生量:G1=350个/m3.min
G2=3500个/m3.min
G3=35000个/m3.min
G4=350000个/m3.min
对于全空气量的比率 0.03
当前有的IC工厂其ISO5级(0.3μm)的洁净室,采用FFU系统,带ULPA(99.μm),出口风速为0.38m/s,其满布率为25%,这样室内平均气流速度为0.095m/s,在各有关推荐或参考值的下限下。此洁净室的工艺加工在微环境内洁净室内的人员亦较少,可以认为洁净室内发生较低,这种情况下采用低的气流速度可能是可取的。
据报道,目前IEST对洁净室内气流速度推荐值的下限有所降低,如:
≤ISO5级:气流速度0.2~0.5m/s;
ISO6级或5级(非单向流);换气次数>200次/h;
ISO7级:换气次数20~200次/h;
ISO8级:换气次数2~20次/h;
转载自公众号:jiejingjishu
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谢谢楼主的资料
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一般百级和千级无尘室换气次数呢
&千级按规范是50-60次,百级是按照断面风速&
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chenhao0529 发表于
一般百级和千级无尘室换气次数呢
千级按规范是50-60次,百级是按照断面风速
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千级按规范是50-60次,百级是按照断面风速
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影响洁净棚内风速达不到要求的因素主要有哪些?
08:13:04&&&来源:&&&评论: 点击:
影响洁净棚内风速达不到要求的因素主要有哪些? 洁净棚的风速受很多因素影响,从而影响到洁净效果。因而要注意对风速的控制,对于净化工作
影响内风速达不到要求的因素主要有哪些? 的风速受很多因素影响,从而影响到洁净效果。因而要注意对风速的控制,对于净化工作至关重要。
  棚内的气流是左右洁净室性能的重要因素,一般的气流速度是选0.25~0.5m/s之间,此气流速度属微风区域,易受人、机器等的动作而干扰趋于混乱、虽提高风速可抑制此一扰乱之影响而保持洁净度、但因风速的提高,将影响运转成本的增加,所以应在满足要求的洁净度水准之时,能以最适当的风速供应,以达到适当的风速供应以达到经济性效果。
&  一般操作台或生产设备等表面的气流分流点,应设于空间与隔墙板间距2/3之处,如此可使作业人员工作时,气流可从制程区内部流向作业区,而将微尘带走;若分流点配置在制程区前方,将成为不当的气流分流,此时大部份的气流将流至制程区之后,作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面,工作台因而将受到污染,良率也势必降低。
  室内的工作桌等障碍物,在相接处均会有涡流现象发生,相对地在其附近之洁净度将会较差,在工作桌面钻上回风孔,将使涡流现象减少最低;组装材料之选择是否恰当、设备布局是否完善,亦为气流是否成为涡流现象之重要因素。
  垂直层流式方向要保持均一气流必须:(a)吹出面的风速不可有速度上的差异;(b)地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高(0.2m/s,0.7m/s)均有涡流之现象发生,而0.5m/s之速度,气流则较均一,目前一般无尘室,其风速均取在0.25~0.5m/s之间。
  另一方面欲达到洁净度之稳定效果,均一气流之保持亦为一重要因素,均一气流若无法保持,表示风速有异,特别是在壁面,气流会延着壁面发生涡流作用,此时要实现高洁净度事实上很困难。
  由上可见,洁净棚的风速同时也受气流的影响,要实现对风速的控制首先也要控制气流的稳定。
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工作日:周一至周六
工作时间:8:30-18:00影响无尘室等级分类和应用的因素
在现代工业技术发展的今天,已经被广泛应用于各行各业之中,如此广泛的应用更是说明了无尘室对于现代工业品的生产和研制的重要性。如果没有的话,那么所有污染敏感零件将无法进行批量的生产,可见无尘室对于现代工业发展有着重大的意义。
所谓的,即是我们常说的,亦或者净化车间,它的主要作用就是对这个车间厂房内的污染进行控制,长久保持车间内的洁净度是它的重要使命。所以对于洁净室是一个具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,完善的净化系统来操作和控制空气中悬浮微粒的浓度,将空气的颗粒污染物达到相应的洁净度级别。
对于不同行业,其对的要求都是各不相同,但无尘室的等级却不外乎几种,我们比较常见的就是十级、百级、千级、万级、十万级以及应用最为广泛,其中不同等级的无尘车间对其空气中的粒子大小和数量都有一定的限制和规范。通常电子、医药、光学、医院手术室等行业对的等级要求较高。
不同级别的要根据行业的实际需求来定,同样的,无尘室内的气流速度也要根据无尘车间的用途来定,室内气流速度不仅受到内部发尘量的影响,同时还会受到诸多因素影响,比如无尘车间内的污染源、车间内的气流流型的分布、室内的换气次数以及末端的效率等因素,均会影响内气流的速度。(本文转自苏州中春净化科技有限公司)
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