做服务顾问8大接待流程接保险车这一部分跟保险公司是怎么对接的哪位能指导下,万分感谢

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【悬赏金币】回答本帖问题,作者mearsmear将赠送您 6 个金币
(初入文坛)
在线: 2.8小时
虫号: 3149340
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请问下有人做过光刻胶高温固化后做支撑层的工艺么?万分感谢!已有2人参与
想用AZ4620胶高温加热使光刻胶碳化后做支撑层,但是实验发现胶高温碳化后变形很严重,不知道各位虫友有没有相关的经历可以提供点经验参考?
或者大家有没有知道其它的材料可以用作在MEMS加工中做支撑绝缘层的?谢谢大家!
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(著名写手)
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注册: 性别: GG专业: 半导体微纳机电器件与系统管辖:
【答案】应助回帖
常见的用来做支撑的光敏型材料有SU8胶和PI,如果硬度要求高,可以用BCB。
4620肯定不行,温度升高首先就化掉了。
你可以写邮件给研材微纳,来帮你选一款合适的材料。
你自己做光刻吗?支撑绝缘的这个材料在什么条件下使用?机械强度和耐温方面有什么具体的要求,最好把使用的需求说清楚。
麻烦回帖问问题的同学,直接发私信比较好,因为老是看不到站内的提醒,我也不会翻以前的帖子,2016年之前的帖子信息和联系方式都不用了,谢谢!
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